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2007-11-20 新创IC设计企业苏州敏芯发布硅基MEMS麦克风芯片
  来自苏州的一家留学生初创IC设计公司苏州敏芯微电子技术有限公司(MEMSensing Microsystems Co., Ltd.)近日宣布，推出外形尺寸为1.5mm×1.5mm×0.4mm的硅基 MEMS麦克风芯片，并已开始进行样产和小批量生产。该公司表示，将于2008年中对客户进行批量供货。
2006-11-23 英飞凌推出采用MEMS工艺的微型硅基麦克风
  在2006慕尼黑国际电子元器件和组件贸易博览会上，英飞凌展出了适用于普通消费通信设备和计算机通讯设备的“微型”硅基麦克风。该新型麦克风大约只有普通麦克风的一半大小，其功耗仅为普通麦克风的三分之一。



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