什么是MEMS？
| MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。 | |
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| 2005-12-23 | 适合车载应用的无线倾角传感网络解决方案 上海微系统与信息技术研究所最近推出了一项无线倾角传感器网络解决方案，适合车载卫星天线与卫星的跟瞄、巨型舰船的船体平稳控制、移动通信天线的方位监测、机械臂角度控制等多种应用场合。 |
| 2005-12-15 | 欧姆龙：关注大中华，寄望车载市场 欧姆龙2005财年中期结算显示其营业利润实际减少，该公司对外表示，将提高在中国大陆及台湾地区等大中华区的销售额，液晶背照灯模块和车载雷达等车载设备市场将有望扩大。 |
| 2005-12-09 | TI:从车载向消费领域渗透，MEMS元件风光无限好 TI:从车载向消费领域渗透，MEMS元件风光无限好 |
| 2005-12-07 | 有感汽车电子竞争激烈，美新进军消费电子 美新公司表示，除了继续稳固汽车等高端产品以外，手机等消费电子领域将是公司下一步的战略重点。 |
| 2005-12-07 | 有感汽车电子竞争激烈，美新意欲涉足手机等消费电子领域 美新公司表示，除了继续稳固汽车等高端产品以外，手机等消费电子领域将是公司下一步的战略重点。 |
| 2005-12-01 | RF MEMS市场将大有发展，年复合增长55 RF MEMS市场将大有发展，年复合增长55 |
| 2005-11-28 | 手机用加速器前景看好，ST推出新型MEMS加速计 手机用加速器前景看好，ST推出新型MEMS加速计 |
| 2005-11-24 | ST推出新型低功耗高分辨率MEMS加速计 ST推出新型低功耗高分辨率MEMS加速计 |
| 2005-11-24 | 意法半导体推出新型硅传感器 意法半导体(ST)宣布该公司继续扩大三轴加速计的产品阵容，推出三款加速计器件。从微型封装的模拟器件，到支持两种数字输出格式(SPI/I2C)的“智能传感器”，ST的低功耗高分辨率MEMS加速计可处理不同的系统需求以及从硬盘驱动器保护到运动用户接口的多种低g(重力加速度)应用中的硬件特性。 |
| 2005-11-23 | 台积电承诺2006年推出MEMS平台 台积电承诺2006年推出MEMS平台 |
| 2005-11-16 | 老器件发挥新作用，欧洲创新TPMS方案试水中国 因为对汽车行驶安全有特别的意义，所以TPMS(汽车轮胎胎压监测系统)得到迅速普及 |
| 2005-11-03 | 发展日受海外瞩目，中国新星闪耀半导体初创公司观察榜 备受瞩目的EE Times第四版全球60家最具潜力半导体初创公司(60 Emerging Startups list version 4.0)名单日前出炉。在这份最新的榜单上，中国概念的公司数量增至6家，而这一数字在第三版的名单中仅为3家。 |
| 2005-11-02 | ADI的3轴运动检测MEMS技术面向移动电话等应用 ADI的3轴运动检测MEMS技术面向移动电话等应用 |
| 2005-11-01 | 松下电工推进在华控制机器业务，推出3个MEMS器件系列 松下电工推进在华控制机器业务，推出3个MEMS器件系列 |
| 2005-10-21 | 博世分拆MEMS部门，瞄准医疗与消费类应用 博世分拆MEMS部门，瞄准医疗与消费类应用 |
| 2005-10-12 | Knowles Acoustics新推表面贴装数字麦克风 Knowles Acoustics公司新推SiSonic系列表面贴装数字麦克风，提供多种封装尺寸，适用于如移动电话、数码相机及MP3播放器等紧凑型便携设备。 |
| 2005-09-28 | MEMS麦克风助力打造新型折叠手机 MEMS麦克风助力打造新型折叠手机 |
| 2005-09-16 | Metryx提供具有原子层测量精度的工具 Metryx推出一种手动非破坏性研发测量工具，其精度可达到原子层测量至7埃氧化物。 |
| 2005-08-24 | 最新陀螺仪结合MEMS传感器与信号调理电路 最新陀螺仪结合MEMS传感器与信号调理电路 |
| 2005-08-01 | DLP投影技术分析及展望 介绍了DLP（Digital Light Processing）技术在投影设备中的应用，对其技术的优缺点进行了深入分析，并且对该技术的发展进行了展望。 |
| 2005-07-20 | 多处理SoC需新思维，业界展示SoC编程改进模型 日前参与多处理器系统级芯片(MPSoC)研讨会的人士表示，必须改进编程模型以充分利用下一代SoC。 |
| 2005-06-01 | 飞思卡尔推出业界首款重力可选的三轴向传感器 飞思卡尔半导体公司(Freescale Semiconductor)日前推出业界首款重力可选的加速计——MMA7260Q传感器，该器件能够进行三轴向检测，拥有快速上电功能，减少了元件数量，从而节约成本 便携式电子产品功能的增加推动了对数据驱动器存储的需求，设计人员正在寻找占用较小板卡空间的改进保护系统。 |
| 2005-05-11 | Tegam推出四通道MEMS引擎驱动放大器 Tegam推出四通道MEMS引擎驱动放大器 |
| 2005-04-27 | Tanner在MEMS设计工具中增加设计规则检查功能 Tanner在MEMS设计工具中增加设计规则检查功能 |
| 2005-03-20 | 基于汽车惯性传感器开发商用低g加速计 为缩短面向商业应用的MEMS惯性传感器的开发周期，我们可以复用为同类汽车产品开发的技术。这种方法提供的附加优势是可以让商业产品保持与汽车产品同样高的质量水平。因此，商用低g加速计已经从汽车领域派生出来，其好处是获得更短的设计周期和更高的产品质量，同时实现更低的成本。 |
| 2005-03-20 | CAD工具开始提供MEMS专用设计功能 CAD工具开始提供MEMS专用设计功能 |
| 2005-03-20 | MEMS代工的可制造性还不够 MEMS代工的可制造性还不够 |
| 2005-03-20 | 基于PC的IC工具降低MEMS设计门槛 基于PC的IC工具降低MEMS设计门槛 |
| 2005-03-20 | 依据实际应用制定MEMS规范 依据实际应用制定MEMS规范 |
| 2005-03-20 | Thelma工艺可创建更灵敏的MEMS结构 Thelma工艺可创建更灵敏的MEMS结构 |
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