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| 2007-04-25 | 利用测时仪测量集成电路器件时序 测时仪是一种半导体自动测试设备(ATE),负责测量两次事件之间间隔的时间或计算事件的个数。由于半导体产业中测试的复杂度日益增大,而且IC设计师希望保证他们所设计的IC在速度和响应上能够满足设计要求,因此大多数测时仪在出售时内部都自带一台TMU。 |
| 2007-04-23 | 利用测时仪测量交流信号的直流偏移 在如今的半导体领域,要确定集成电路器件的功能性是否满足要求,往往需要对其进行多种电测试。其中一项就是测量器件的时序,这时必须用到测时仪(TMU) |
| 2006-12-20 | KLA-Tencor光学叠对测量系统提升45纳米工艺能力 KLA-Tencor, Inc.推出Archer 100光学叠对测量系统Archer 100,这个45纳米的生产工具可解决先进显影的独特挑战,准确度和TMU(总测量不确定度)的改善幅度超过30%以上,并明显增加浸润式显影与未来双图样显影技术的准确性与生产能力。 |
| 2005-06-21 | 科磊将光刻叠对控制扩展至65纳米 科磊(KLA-Tencor)公司近日针对65纳米节点以下光刻叠对控制需求,推出了叠对计量解决方案——Archer AIM+系统。 |
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