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EDA/IP/IC设计

MEMS技术显神威，掌上型超小投影仪梦想成真

作者: R. Colin Johnson 上网日期: 2008年01月11日

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关键字：超小型投影仪 MEMS 微机电系统

[摘要提示] 通过利用大批量生产的液晶显示器(LCD)技术来代替视图，数字投影仪给移动演示带来了革命性变化，使高输出电灯泡能够透过LCD而不是塑料薄片发光。尽管数字投影仪公司越来越多地缩小它们的LCD的尺寸，使LCD投影仪越来越小，功耗越来越低，但是，数字微镜技术准备超越数字投影仪技术，使投影仪能够做到像蜂窝电话那样的大小。在今年的消费电子展上，位于华盛......

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什么是MEMS？
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。

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