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传感/MEMS

带MEMS器件的火炬将在奥运赛场挥舞

上网日期: 2008年08月05日

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关键字： MEMS 微机电系统火炬

[摘要提示] 微机电系统(MEMS)芯片已经被内置在了奥运火炬中——不过不是在世界各地传递的火炬，而是观众们在观看比赛时在运动场内挥动的火炬复制品。Memsic(美新半导体)公司华籍创始人赵阳表示，观众们可以在看台上挥动火炬，火炬内置的MEMS元件可以控制LED灯来传递信息。赵阳曾经是ADI的一名MEMS工程师，他说当他得知ADI打算新建一个晶圆厂，通过在硅芯片上从三个......

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什么是MEMS？
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。

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