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传感/MEMS

多种应用领域即将爆发，厂商对运动传感器前景充满信心

上网日期: 2008年08月29日

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关键字：运动传感 MEMS 便携

[摘要提示] 随着任天堂的Wii游戏机以及苹果公司的iPhone的成功，芯片厂商开始对运动传感芯片在便携式工具上的应用潜力信心大增。台湾芯片商台积电（TSMC）在引述一家独立研究报告称，使用加速计传感器来检测运动的微电子机械系统（MEMS）设备，其市场销售额今年将达73亿美元，2011年将达110亿美元。索尼公司也进入了运动芯片市场，该公司的蛋形Rolly MP3播放器可以......

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什么是MEMS？
MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。

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