在芯片的晶圆代工完成后与封装完成前,往往还需要用到探针卡(probe card)做功能测试。随着芯片的工艺越来越先进,以及新的MEMS层出不穷,探针卡这种以前很多家供应商可以提供的业务,在新的工艺时代,变成了少数企业才能完成。这其中就包括一家总部位于美国加州硅谷的公司:FormFactor。随着大陆半导体制造与晶圆代工产业越来越发达,电子工程专辑记者日期在硅谷专门拜访了这家公司的高管FormFactor 公司CEO Mike Slessor博士和市场资深副总裁Amy Leong,以了解这种非常先进的半导体测试设备与材料供应商,同时也听取他们对于中国市场的看法。 20170614-formfactor-1 图为 FormFactor 公司CEO Mike Slessor博士和市场资深副总裁Amy Leong在公司接受电子工程专辑的专访

FormFactor 公司CEO Mike Slessor博士介绍,FormFactor公司成立于1993年,最早是一个位于纽约Elmsford的MEMS实验室,由IBM的前研究员Igor Khandros先生创立,专门为半导体制造提供插座、封装和探针卡。在过去的20多年中,公司的业务随着半导体工艺的发展而不断创新。在2012年FormFactor公司收购MicroProbe公司,2016年6月FormFactor完成对Cascade Microtech的收购后,FormFactor已经成为全球先进的SoC和存储器探针卡供应商。 20170614-formfactor-2 图为较早几代的CPU 探针卡的产品实物图。在CPU的DIE被封装之前,需要用这样的探针卡来做测试。

“2016年我们的营业收4.56亿美元,全球有约1500名员工,其中约500名员工是直接面对面服务我们的客户。我们是市场上最大的探针卡供应商,占有34%的市场份额,是最近的竞争对手的两倍,是最大的MEMS探针卡供应商,约占市场份额四成,同样是最近的竞争对手的两倍。在VLSI客户满意度调查中连接三个排名第一。” Mike Slessor博士简单地向电子工程专辑介绍了FormFactor公司。

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作为一家半导体生产制造的工具提供商,FormFactor有什么样的独特优势?“我们的优势是能够在实验室阶段就为客户提供晶圆测试测量的解决方案,我们与客户同步地开发最新的生产工艺,” FormFactor 公司市场资深副总裁Amy Leong回答道。在工艺最为先进的SoC、DRAM和NAND芯片中,FormFactor在自己的工厂里,为这些芯片客户制造出业界最先进的探针卡。

20170614-formfactor-4 上图为FormFactor为不同的芯片提供着不同工艺的探针技术。在过去的两次大的收购中,MicroProbe和Cascade Microtech两家公司的技术对于不断保持行业领先的地位起了重要的作用。

20170614-formfactor-5 从这张图可以了解Cascade的探针系统,涵盖的在不同工艺与应用中的测试技术,其包括LED测试、功率器件、高频芯片、光电芯片等测试。Imec和Cascade Microtech开发出第一款应用在先进的3D芯片上的全自动探针系统,可应用在300毫米晶圆上的3D芯片测试,该工具还获得了2017 NI 年度工程影响大奖。电子工程专辑也有幸在现场见证该项大奖的颁奖仪式。 20170614-formfactor-6 图为FormFactor的探针卡产品线

Mike Slessor表示,FormFactor 公司拥有广泛而完成的产品线,同时在亚洲的中国大陆、台湾、韩国、日本和新加坡等地都设有维修中心、销售办公室、制造工厂以及研发中心,可以为客户提供非常好的供应与售后服务。

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