特殊材料领先供应商 Entegris Inc.近日宣布与中国湖北随州的特殊化学品制造商湖北晶星科技股份有限公司(湖北晶星)签订协议,合作生产 Entegris 高纯度沉积产品。这些高纯度沉积产品包括 TEOS(硅酸四乙酯),这种材料对于半导体制造领域采用的3D NAND 技术至关重要,该技术用于生产速度更快的先进储存设备与内存。

Entegris 特殊化学品和工程材料部门高级副总裁兼总经理 Stuart Tison 表示:“同湖北晶星的合作有利于 Entegris 在中国扩大产能,同时也缩短了中国市场的沉积材料供应链。”他还表示:“我们很荣幸成为第一家在中国实现大批量生产 TEOS 的跨国企业。Entegris UltraPur™ TEOS 是 3D NAND 技术的关键材料,对于支持中国半导体产业的全面发展也具有重要意义。”

湖北晶星总经理 Ye Gang(叶刚)表示:“与 Entegris 的合作有助于我们全面提升高纯度材料的生产能力和水平。”“此外,我们将会采用与目前 Entegris 流程相匹配的生产工艺,同时采用其质量控制体系,以保证产品的统一性。”