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传台积电斥资440亿元采购55台EUV光刻机,官方回应来了…

时间:2020-10-01 11:31:16 阅读:
之前有消息称,台积电打算在2021年底前购置55台EUV光刻机,以加快EUV相关工艺制程的发展,而当前全球一半投入使用的EUV光刻机都在台积电手中。台积电方面回应称,这涉及到商业机密。
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之前有消息称,台积电打算在2021年底前购置55台EUV光刻机,以加快EUV相关工艺制程的发展,而当前全球一半投入使用的EUV光刻机都在台积电手中。

据了解,一台EUV光刻机售价近8亿元,55台EUV光刻机价值约440亿元。

对于这样的消息,台积电方面回应称,不方便透露消息具体的真实性,这涉及到商业机密。

按照之前曝光的消息看,台积电的3nm工艺正在按计划推进,计划在2021年风险试产,2022年大规模投产,而据说3nm工艺准备了4波产能,其中首波产能中的大部分,将留给他们多年的大客户苹果。

此外,剩下的三波产能将被高通、Intel、赛灵思、NV、AMD等厂商预订,而3nm工艺在大规模投产之后,台积电设定的产能是每月5.5万片晶圆,随后逐步提升,在2023年提高到每月10万片晶圆。

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