赛微电子8英寸MEMS代工线(北京FAB3)二期洁净室竣工

MEMS 2022-08-16 00:00

近日,赛微电子控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司完成了“8英寸MEMS国际代工线”(北京FAB3)二期产能洁净室的整体建设,截至目前已搬入部分设备进行安装调试,计划在今年底之前实现通线生产。


洁净室(Clean Room)是指空气悬浮粒子浓度受控的空间,同时将室内的洁净度、温度、湿度、正压、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在满足工艺需求范围内,洁净室的作用是确保产品(芯片晶圆)能在一个良好环境空间中进行生产、制造,测试、包装。北京FAB3二期洁净室总建设规模10,730.54平米,主要洁净分区为 10级洁净区(Litho光刻区)、100级洁净区(Dry Ethch等非光刻区)、1000级洁净区(封测包装及实验区)。


截至目前,赛莱克斯北京8英寸MEMS国际代工线北京一期产能(1万片/月)正常使用中,二期产能(2万片/月)的建设也正在进行中。自通线以来,公司北京FAB3的工艺开发能力及生产工艺水平逐步得到国内外客户的认可,正在积极开拓市场并持续推进产能爬坡,努力提升产能利用率。



赛微电子是全球领先、国际化运营的高端集成电路晶圆代工生产商,也是国内拥有自主知识产权和掌握核心半导体制造技术的特色工艺专业晶圆制造商。公司在国内外拥有多座中试平台及量产工厂,业务遍及全球,服务客户包括国际知名的DNA/RNA测序仪、光刻机、元宇宙、计算机网络及系统、硅光子、红外、可穿戴设备、新型医疗设备、汽车电子等巨头厂商以及细分行业的领先企业。


赛莱克斯北京是由赛微电子全资子公司北京赛莱克斯国际科技有限公司与国家集成电路产业投资基金股份有限公司共同投资的8英寸MEMS国际代工线项目公司,主要从事MEMS的生产代工业务。在原定瑞典FAB1&2输入技术模式被迫中止的背景下,北京FAB3继续加大研发投入,自主积累基础工艺,积极探索各类MEMS器件的生产诀窍,努力为通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户,尤其是中国本土客户提供优质的MEMS工艺开发及晶圆制造服务,积极推动公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生产制造能力,加速国产替代。


赛微电子欢迎与全球尤其是中国本土各领域MEMS设计厂商开展广泛合作,为中国MEMS产业生态的进一步发展贡献一份自己的力量。




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