三星首次引进本土生产的EUV光刻胶!

半导体前沿 2022-12-04 16:57


据据ETNews消息,三星电子将一家韩国公司开发的用于高科技工艺的极紫外 (EUV) 光刻胶引入其量产生产线。这是由于2019年日本出口相关法规,经过三年的本地化努力后的结果。


三星电子被发现将东进世美肯半导体光刻胶用于其半导体工艺(层)线之一。去年该企业的光刻胶通过三星电子的可靠性测试后不到一年就应用于量产线。一条工艺线只是三星电子整个工艺中非常小的一部分。但是,由于它是一种完全不依赖进口的产品,因此具有特殊的意义。


东进2020年聘任ASML Korea前CEO Young-sun Kim为副会长,为进军EUV光刻胶业务打下基础。去年初,他们通过确保额外的 EUV 光刻胶人员来加速产品开发。


由于三星将该产品用于实际的半导体生产,东进成为第一家将EUV光刻胶国产化至量产水平的公司。


三星电子是否会从东进引入额外的EUV光刻胶仍未确定。这是因为要考虑的因素很多,比如与海外供应商的关系,三星电子尚未确认东进半导体产品用于哪种工艺。


来源:集微网


化学机械抛光(CMP)是实现晶圆全局平坦化的关键工艺。CMP工艺贯穿硅片制造、集成电路制造与封装测试环节。抛光液和抛光垫是CMP工艺的核心耗材,占据CMP材料市场80%以上。 鼎龙股份、华海清科为代表的CMP材料与设备企业受到行业重点关注。


靶材是制备功能薄膜的核心原材料,主要用于半导体、面板、光伏等领域,实现导电或阻挡等功能。在半导体几大材料中,靶材是国产化程度最高的一种。国产铝、铜、钼等靶材领域取得突破,主要上市公司有江丰电子、有研新材、阿石创、隆华科技等。


未来三年将是中国半导体制造产业高速发展期,中芯国际、华虹宏力、长江存储、长鑫存储、士兰微等企业加速扩产,格科微、鼎泰匠芯、华润微等企业布局的12英寸晶圆生产线也将陆续投产,这将带来巨大的CMP材料与靶材需求。


新形势下,国内晶圆厂供应链安全越发重要,培养稳定的本土材料供应商势在必行,这也将给国内供应商带来巨大的机遇。靶材的成功经验,也将给其他材料的国产化发展提供借鉴。


半导体CMP材料与靶材研讨会2022将于12月29日苏州召开。会议由亚化咨询主办,多家国内外龙头企业重点参与。


会议主题


1.中国CMP材料与靶材政策与市场趋势

2.美国制裁对国内半导体材料供应链的影响

3.CMP材料与靶材市场与重点企业分析

4.半导体CMP抛光研磨液

5.CMP抛光垫与清洗液

6.CMP抛光设备进展

7.半导体靶材市场供需

8.半导体靶材重点企业动向

9.CMP与靶材技术进展

10.靶材国产化经验及借鉴

第3届第三代半导体论坛将于2022年12月28日召开。多家国内外龙头企业参会,重点关注碳化硅、氮化镓上下游产业链;最新衬底、外延、器件加工工艺和生产技术;展望氧化镓、氮化铝、金刚石、氧化锌等宽禁带半导体前沿技术研究深度进展。并将参观国内第三代半导体材料与设备产业园区和重点企业。


会议主题


1. 美国芯片禁令对中国第三代半导体发展的影响

2. 全球与中国第三代半导体市场及产业发展现状

3. 晶圆产能供需与第三代半导体市场机遇

4. 6吋SiC项目投资与市场需求展望

5. SiC PVT长晶技术&液相法的现状及发展

6. 8吋SiC国产化进程和技术突破

7. SiC市场以及技术发展难题&解决方案

8. GaN射频器件及模块在5G基站方面的应用

9. GaN在快充市场中的发展及替代情况

10. GaN激光器件技术和市场应用

11. 国产化与技术及设备发展机遇与挑战

12. 其他第三代半导体发展前景

13. 工业参观与考察(重点企业或园区)


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  • 中国大陆半导体湿电子化学品项目表(月度更新)

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  • 中国大陆上月半导体前道设备进口数据表(月度更新)

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