美国荷兰日本达成对中国芯片禁止协议,浸润式DUV光刻机不卖了

半导体工艺与设备 2023-02-01 07:00

美国荷兰日本达成对中国芯片禁止协议,浸润式DUV光刻机不卖了 

1. 这个是业界早就预期的,因为浸润式光刻机可以用来造14nm芯片,最强可以到7nm。有些相关技术常识。

2. 最先进的叫EUV光刻机,13.5nm的极紫外光源,可以用较少的工序造7nm芯片。次先进的光刻机就是immersion浸润式DUV光刻机,光源是193nm的,但是在水里折射变137nm,加工能力更强,多次光罩叠加后可以做14nm芯片。

3. 中国已经有一些浸润式DUV光刻机,是ASML卖的。拜登搞的协议将让ASML和日本尼康都不能卖了,这样将无法扩产。 估计日本东京电子还会通过耗材供应,卡中芯国际等中国公司现有的光刻机制造能力。

4. 还能卖的是干法DUV光刻机,也是193nm光源,这种只能用来造55nm、40nm之类的芯片。28nm都不太方便了。这对中国芯片扩张产能有很大影响。 5. 现在局面明确了,中国公司之前的一些扩产假设需要调整,不能指望ASML和日本供应商,只有一些成熟制程里低级的还能扩产。

6. 最后的关键是,SMEE上电微到底行不行,浸润式光刻机搞得如何了,就顶在这了。美国方面应该是有了情报,中国自己没有搞出可以实际应用的浸润式光刻机(中国这可能更习惯叫28nm光刻机),所以就推进到这了。问题是还要几年,也不只是光刻机,还有很多配套。总体来说,群众慢慢认识到了难度,时间节点一再往后推。

半导体工艺与设备 1、半导体工艺研究、梳理和探讨。 2、半导体设备应用、研发和进展。 3、建华高科半导体设备推广,包括:曝光机、探针台、匀胶机和切片机。 4、四十五所半导体设备推广,包括:湿化学设备、先进封装设备、电子元器件生产设备等。
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