阜时全固态激光雷达面阵SPAD芯片荣获广东省科技进步二等奖

MEMS 2023-11-30 00:02
广东省科技进步奖

11月27日,阜时科技收到了广东省人民政府颁发的广东省科技进步奖二等奖证书




















































阜时科技全固态激光雷达面阵SPAD芯片,是基于此次获奖项目的技术沉淀,通过公司上百名研发人员倾全力开发,今年流片出来。这是国内第一款全固态激光雷达面阵SPAD芯片,通过先进的BSI背照式工艺架构,解决了高灵敏度感光和dToF高速数字运算的底层硬件难题,达到了150线扫描、每秒输出54万点云的面区域激光雷达探测覆盖,超越了日本芯片,实现了目前全世界最高输出分辨率的激光雷达性能

该项目成果整体技术与应用达到国际先进水平,具有显著的社会效益,填补国内空白,打破国外厂商垄断,解决了国家重大战略需求的“卡脖子”问题,实现自主可控掌握底层器件技术,可带动下游激光雷达应用市场高速成长。


作为芯片设计开发领域唯一民营机构牵头获奖项目,阜时科技自主研发的核心技术获得广东省及深圳市相关部门的一致认可。评审委员会专家在评审过程中,对阜时科技的芯片研发能力、器件测试效果,均给予了高度评价。本项目成果围绕深度光感器件精确度和反应速度、可靠性以及光传感芯片的封装难题等瓶颈问题,从直接激光飞行时间(dToF)测距技术路径、进行高性能单光子雪崩二极管元器件(SPAD)的工艺研究,对 SPAD器件占位检测、可靠性、底层原理、工艺仿真等各个层面,系统研发三维机器视觉芯片深度光感测元器件。


基于内部研究院的创新理论研究,阜时科技近年来投入巨额研发,与晶圆厂合作多次进行 SPAD 器件工艺的实验流片,屡次迭代调试工艺,成功使得单光子雪崩二极管器件工艺达到稳定良率、高性能、低功耗、小型化水平,满足可产品化落地的高标准。


广东省科学技术奖是广东省在科技成果奖励方面的最高荣誉,由省科学技术厅主办评选,主要授予为促进科技进步和经济社会发展做出突出贡献的组织和个人。科技进步奖注重创新性、效益性,强调从国家急迫需要出发,在解决产业关键共性技术问题、企业重大技术创新难题,特别是关键核心技术突破上的贡献和成效,重点关注对企业牵头取得显著经济效益、社会效益的重大科技成果。

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