ASML第一台5nm多光束检测器实现了怎样的突破?

SSDFans 2020-09-18


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在制造厂中,开发、设计和构建一条新的生产线时,计量是很重要的一个环节:分析制造过程中的步骤以确定生产如期进行。计量使制造厂能辨别出机器是否能正常工作,也可以帮助描述最终产品的特性,关于合适的电压/频率等。如果晶圆特别差,则可以将其早点丢出这个循环,从而节省时间和资金。


和制造过程中其他步骤一样,计量在工厂中很占时间和空间。为了实现将更好的光刻机移动到EUV这个目标,使其既能有更小的特征,又能加快每个芯片的制造,计量要做的两个主要任务就是准确的报告和吞吐量。这些机器吞吐量增加意味着给定运行所需机器变少,而且过程节点步骤之间的延迟可以缩短。



ASML宣布其在多光束检测工具系列上已取得重大突破。新的eScan1000将单光束扫描进程优化成9光束扫描进程,ASML宣称在线缺陷检测应用中,能使工具吞吐量提高600%。该工具适用于目前生产的所有主要进程节点,包括5nm及更高工艺。


公司解释道,新的eScan100工具拥有一个电子光学系统,能将初始光束分成许多细光束,同时收集并处理这些次级光束带来的结果。这个工具还能将串扰限制在2%以下以保证成像质量,并用高速模式增加整体吞吐量,而且新的电脑硬件加速处理次级光束数据比以前更快。它还能用于一系列波束电流,既能进行物理缺陷检查也能进行电压差别检查。ASML宣传的是它拥有一个缺陷检测能力突出的专有数据库,能检测出许多传统计量方法遗漏的缺陷。


据新闻报道,ASML在一周前已将首款eScan1000系统交给硅谷的一位特定客户,在客户现场进行初步测试和认证。但并没有透露客户是谁。


ASML期望扩大eScan1000机器的应用范围以满足特定客户的要求,并表示会继续开发能分更多光束和更广光线分辨率的多光束技术。得知这个工具的重要性之后,我们有希望在今年晚些时候看到未来行业活动的产品路线图。


原文链接:https://www.anandtech.com/show/15822/asml-first-multibeam-inspection-tool-for-5nm



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