SK海力士将购8台EUV设备!

中国半导体论坛 2024-02-28 21:26

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228日消息,据韩媒报道SK海力士将于今年引入8EUV光刻机,推动 DRAM 内存产品的技术演进。

SK 海力士现有 5 台光刻机。到今年末,若加上韩媒报道中称的 8 台,其拥有的 EUV 光刻机总数将达 13 台,较年初翻倍有余,大幅提升 EUV 曝光能力。

SK 海力士于第四代 10 纳米级制程 ——1anm 制程中首次引入 EUV 光刻,当时仅在 1 个步骤中使用;而来到目前的 1bnm 节点中,EUV 使用步骤提升到 4 个;至于正在研发的 1cnm 工艺,据 etnews 透露,EUV 使用量将进一步提升至 6 个步骤。

SK 海力士于去年 5 月完成了 1bnm 制程服务器内存的技术研发,并宣布计划于今年上半年将这一先进工艺扩展到 LPDDR5T 和 HBM3E 等移动 / AI 服务器领域热门 DRAM 内存产品中,这也增加了对 EUV 曝光的需求。此外曲线升级无锡工厂产能至 1anm 也将增加 SK 海力士在韩国本土的 EUV 用量。

SK 海力士今年计划在半导体设备领域投资 5.3 万亿韩元。etnews 称新 EUV 设备总共价值约 2 万亿韩元,预计将占到整体设备投资的近四成。

etnews 就 EUV 设备引进计划向 SK 海力士发言人寻求回应,发言人表示“无法确认公司设备投资情况”。

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