抗高过载MEMS陀螺仪芯片

原创 MEMS 2024-05-16 00:01

据麦姆斯咨询报道,2024年5月24日至26日,中北大学教授曹慧亮将参加《第61期“见微知著”培训课程:惯性传感器及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:抗高过载MEMS陀螺仪芯片

授课老师简介:

曹慧亮,博士,中北大学仪器与电子学院教授、博士生导师,东南大学和美国佐治亚理工学院联合培养博士,国家二级创业咨询师。山西省高等学校青年学术带头人、三晋英才、山西省人社厅留学回国人员科技活动择优资助项目获得者、IEEE Senior Member、中国微米纳米学会高级会员、中国自动化学会高级会员、中国计算机学会会员、中国航空学会会员、ICAN中国联盟常务理事(山西赛区)。他主要从事MEMS惯性器件设计加工、测控及数据处理等方面的工作,以第一(通讯)作者发表SCI论文40余篇,被引用1000余次,ESI高被引论文5篇,授权发明专利40余项,出版专著3部。近年来,他作为项目负责人主持国家重点研发计划(课题)1项,国家自然基金重点联合项目(分承研)1项,ZF重点项目2项,JKW基金项目2项,国家自然科学基金1项,兵器联合基金、航空基金、山西省基金等省部级项目10余项,作为骨干参与国家级省部级课题多项获2023年仪器仪表学会科技进步二等奖。他还是《导航与控制》、《中北大学学报(自然科学版)》、《导航定位与授时》期刊(青年)编委。在教学方面,他主讲《单片机原理及应用》和《微惯性器件》课程,出版教材1部,是“山西省优秀创新创业导师”,主持校级教改项目3项,指导学生参加各类创新大赛获奖40余项,获得2019年度山西省教学成果奖二等奖。

授课背景及内容:

随着加工工艺和测控技术的不断改进,MEMS陀螺仪的精度和成品率显著提升,相比于其它形式的陀螺仪,MEMS陀螺仪还具有体积小、功耗低、重量轻、成本低的优点,特别是优异的抗冲击特性,使其在火箭发射监测、弹药惯性制导等方面具备了强大优势。在精确制导武器中,MEMS陀螺仪在经历高过载环境如何保持存活以及正常工作是各国军用高性能微型惯性传感器的研究重点。目前,国内外应用在高过载环境中的MEMS陀螺仪主要分为线振动、固体波动两大类。美国霍尼韦尔(Honeywell)研制的线振动MEMS陀螺仪能够在冲击幅值达到20000 g的过载环境下存活;英国BAE研制的电磁驱动检测的固体波动MEMS陀螺仪也能耐受20000 g过载冲击。本课程详解抗高过载MEMS陀螺仪关键技术及发展趋势,从芯片设计及制造到器件封装及测试。


抗高过载环形陀螺结构示例

课程提纲:
1. 抗高过载MEMS陀螺仪技术发展趋势;
2. 抗高过载MEMS陀螺仪芯片设计及制造;
3. 抗高过载MEMS陀螺仪芯片测控系统;
4. 抗高过载MEMS陀螺仪封装及防护技术;
5. MEMS惯性传感器抗冲击测试技术;
6. 抗高过载MEMS陀螺仪总结与展望。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-61.html

MEMS 中国首家MEMS咨询服务平台——麦姆斯咨询(MEMS Consulting)
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