镀膜自动化划伤&崩边解决方案

半导体商城 2020-12-02

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对于皮带传动硅片运动机构来说,堵片故障是常见的异常之一,自动化堵片会造成两种在制不良:划伤和破片(崩边、缺角、隐裂、碎片),今天“光伏技术”将介绍镀膜自动化划伤&崩边解决方案,期待和您共同进步。

1. 自动化堵片分析


1.1 堵片划伤分析

主要因素涉及皮带同步性异常、进篮位置异常、花篮齿变形,可以通过定期更换皮带和轴承、定期检查进篮位置、更换花篮来解决。

1.2 堵片破片分析

主要因素涉及机械手在送片篮放片时位置异常、传送皮带不同步、皮带轴承损坏、缓存位位置异常、传片轨道水平度偏差较大、传片位移参数和进篮参数设置不合理或累计性误差堵片、花篮齿变形、整片机构导轨偏移、整片电磁阀损坏等。

2. 堵片类型分析及处理措施

2.1 机械手放片位置异常

a. 分析

机械手在放片时位置偏差,主要是因为机械手放片参数设置不合理或长时间运行累计误差较大而产生的。放片偏差在后期皮带传送过程中硅片可能会碰到其他机构或被相机挑出来,加大了整片机构对硅片的矫正范围,引发质量下降和硅片破片情况。

b. 解决办法

可以通过调试机械手在送片篮放片位参数解决,调试标准为硅片在传片轨道上硅片两端边缘与轨道距离17.5±1mm以内(参考值)。

c. 预防措施

以月为周期对机械手送片篮放片位置进行测量并调试。

2.2 皮带轴承损坏&不同步

a. 分析

传片导轨属于高速、高负荷运行机构,长时间使用后轴承和皮带容易磨损变形使硅片传动过程中偏移跑道或打滑,从而引起较严重的堵片现象。

b. 解决办法

更换损坏的轴承或皮带,更换后将两条皮带同水平位置做标记,同时让电机转动一分钟,停止后目测两皮带标记位置偏差<5mm为正常。

c. 预防措施

① 以周为周期对轨道上所有轴承进行检查有无松动、偏心、漏黑油情况;

② 以15日为周期对轨道上所有皮带进行检查有无磨损、开裂、跑偏情况。

2.3 缓存位位置异常

a. 分析

① 缓存参数设置不合理,硅片传动过程中可能会磕碰到缓存料盒引起堵片或破片;

② 缓存区两轨道水平度不够,硅片传送过程中可能一边翘起磕碰料盒引起堵片或破片。

b. 解决办法

① 调整缓存进料参数;

② 可通过调整两轨道水平度使硅片进缓存时平行进入。

c. 预防措施

① 以月为周期对缓存区进料参数位置进行检查调整;

② 以15日为周期对两轨道水平、有无松动进行检查调整。

2.4 传片轨道水平度偏差较大

a. 分析

轨道水平度偏差较大主要发在两节轨道衔接处和伸缩板送片进花篮处,如轨道一边高时硅片旋转(图1)、伸缩板一边高时硅片撞花篮齿(图2)、伸缩板低于长轨道时硅片不传送(图3)、伸缩板上扬或下坡倾斜时硅片进篮不到位(图4)。

b. 解决办法

用水平尺调整长轨道、伸缩板、轨道衔接处水平度(水平度保持在0.5mm内);调试自动化上料端伸缩板高于长轨道0.5mm;调试自动化下料端长轨道高于伸缩板0.5mm。

c. 预防措施

以月为周期对自动化轨道和衔接位置进行水平检查并调试。

2.5 参数设置不合理&累计误差堵片

a. 分析

参数设置不合理易使硅片传送不到位引起整片区整片异常、到位传感器堵片报警、硅片进篮不到位堵片报警。

b. 解决办法

优化各轨道传片参数和硅片进篮参数(主要调试首片位进片参数);

c. 预防措施

以月为周期对自动化进行机械回原处理,主要改善各零件加工误差累计的装配误差或长时间产生的运行误差。

2.6 花篮齿变形

a. 分析

花篮齿变形一般会使硅片不进篮倾斜卡片或引起划伤质量下降事故。

b. 解决办法

更换花篮齿有损坏的花篮。

c. 预防措施

每月对现场以生产人员进行强调培训,每上篮前检查一下花篮有无变形、齿有无变形、齿有无脱落情况。

2.7 整片电磁阀损坏

a. 分析

电磁阀损坏主要体现在整片气缸不能正常工作或卡顿、或延迟、或漏气、停止工作。

b. 解决办法

更换损坏的电磁阀。

c. 预防措施

车间计划维护保养时对电磁阀进行检查更换。

2.8 整片机构导轨偏移

a. 分析

整片机构工作强度较高平均每天整片7W次,容易发生螺丝松动、整片轮磨损、气缸压缩量偏差问题,如产生如上问题容易将整片过程中的硅片直接夹碎或整片不好传入花篮口卡碎情况。

b. 解决办法

将整片轮用导轨贴纸进行缠绕保护(保护周期7天),调试整片机构整片后宽度168mm-170mm (M6尺寸参考),且整片轮平行于花篮杆。

c. 预防措施

以周为周期对整片轮导轨贴纸进行更换并紧固整片机构固定螺栓。

2.9 点击获取更多相关内容:

a. MAiA—江松板式自动化设备

b. 智能自动化Pro-face触摸屏

c. 光伏技术——提供全方位的行业现场解决方案

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