宽禁带MEMS/NEMS谐振器及应用

MEMS 2025-04-16 00:02

据麦姆斯咨询报道,2025年4月18日至4月20日,南京邮电大学教授郑旭骞将参加《第69期“见微知著”培训课程:微纳谐振器及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:宽禁带MEMS/NEMS谐振器及应用

授课老师简介:

郑旭骞,博士,南京邮电大学海外高层次引进人才,集成电路科学与工程学院教授。他长期从事二维材料、宽禁带/超宽禁带材料的微纳机电系统(M/NEMS)研究,在Nano Lett.NanoscaleAppl. Phys. Lett.ACS Appl. Mater. Interfaces等高水平期刊发表论文20余篇,发表各类顶级国际会议论文15篇,总引用1100余次。2024年入选江苏省青年科技人才托举工程资助对象,同时担任中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会委员,Chip期刊青年编委等职位。

授课背景及内容:

宽禁带MEMS/NEMS谐振器是指利用MEMS/NEMS技术加工宽禁带半导体材料(例如氮化镓、氧化镓、氮化铝)制成的微纳谐振器。相比硅材料,宽禁带材料具有更高的热稳定性、更强的电流承载能力、更快的频率响应、更高的功率效率等优点,这使得宽禁带器件在高温、高频、高功率等极端环境下的应用表现出更好的性能和可靠性。MEMS/NEMS谐振器因其具有超高的谐振频率、品质因数(Q值)和灵敏度等优越特性,在物理传感、生化检测、射频通信、能量收集等方面表现出了卓越的性能而备受关注。MEMS/NEMS谐振器常见的结构设计包括悬臂梁、双端固支梁、圆形鼓面、圆环等,这些结构可以根据具体应用的需求和谐振器的工作原理进行选择和优化。此外,能量耗散是影响谐振器性能提升和应用发展的关键之一,如何有效减少能量耗散成为设计高性能谐振器的核心挑战。本课程深入讲解宽禁带MEMS/NEMS谐振器原理与技术(从设计与制备到性能调控),以及在传感与射频领域的应用案例。


 (a) 双端固支谐振器结构示意图; (b) 圆形鼓面谐振器结构示意图; (c) 激光干涉测量系统原理图


谐振器不同能量耗散机制

课程提纲:
1. 宽禁带MEMS/NEMS谐振器概述;
2. 宽禁带MEMS/NEMS谐振器的设计与制备;
3. 宽禁带MEMS/NEMS谐振器的驱动与测量;
4. 宽禁带MEMS/NEMS谐振器基础性能及其调控;
5. 基于宽禁带MEMS/NEMS谐振器的传感器件;
6. 基于宽禁带MEMS/NEMS谐振器的射频器件;
7. 宽禁带MEMS/NEMS谐振器的总结与展望。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-69.html

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