近日，在重庆力为康智能装备有限公司检测车间，北京理工大学重庆微电子研究院（以下简称“北理微电院”）彭喆博士正调试参数，光谱仪显示屏上实时跳动着精准的检测数据，经过严格测试，北理微电院自主研发的FTS-DT-101型微型近红外光谱仪各项性能指标均达到或超过预期，标志着该产品顺利完成批量生产并交付。
FTS-DT-101型微型近红外光谱仪由北理微电院彭喆博士牵头组建专业研发团队研发。该产品利用MEMS电热微镜技术，成功规避对电机的依赖，采用自主研发、生产的MEMS微镜，打破国内光谱仪核心部件技术瓶颈，解决微镜热响应时间、调制精度、驱动控制等系统问题，填补了国内技术空白。
▲微型近红外光谱仪产品
▲超大位移电热MEMS微镜
“我们先后突破MEMS微镜热响应控制、光学系统微型化、光电转换电路噪声抑制等多项关键技术瓶颈。”北理微电院相关负责人介绍，产品研发过程中，研发团队完成10余轮设计迭代，测试数据超500组，仅用时7个月，成功实现了该产品从设计研发到量产交付，创造了“北理速度”。
▲北理微电院FTS-DT-101型微型近红外光谱仪研发团队
据了解，凭借其技术创新性，该产品已入选2024西部（重庆）科学城十大科技创新成果。产品的产业化应用，将有效提升我国在精密仪器制造领域的技术水平，为相关行业提供重要的技术支撑。
《光谱成像市场和趋势-2022版》
《小型、微型和芯片级光谱仪技术及市场-2020版》
