台积电公布2nm工艺良率!

半导体前沿 2025-04-29 16:55

4月28日消息,在近期举行的北美技术论坛上,台积电首次对外披露了其N2(2nm制程)工艺的缺陷率(D0)相关信息。与此前的7nm、5nm以及3nm等制程相比,N2工艺在缺陷率控制方面表现更为优异。

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虽然台积电并未公开具体的缺陷率数据,但展示了不同制程工艺随时间变化的缺陷率趋势。N2是台积电首次引入GAAFET全环绕晶体管技术的工艺,距离大规模量产还有两个季度,预计将在年底实现。

从试产情况来看,N2工艺在过去近两个月的表现中,其缺陷率与同期的N5/N4工艺相当,甚至略低,并且显著优于N7/N6和N3/N3P工艺。从试产到量产的半年周期内,N7/N6工艺的综合缺陷率相对较高,而N3/N3P工艺自量产起便保持较低水平。N5/N4工艺的表现更加出色,从试产阶段开始,其缺陷率就明显更低。

如果N2能够延续N5/N4的改善趋势,其未来发展将十分值得期待。此外,台积电还强调,一种工艺的缺陷率能否快速下降,不仅取决于其设计和技术本身,还与制造芯片的数量和产能规模密切相关。制造数量越多、产能规模越大,越容易发现潜在问题并加以改进。

目前,N2工艺已经流片的芯片数量显著增加,这也是其能够迅速降低缺陷率的重要原因之一。

来源:官方媒体/网络新闻

会议背景


近年来,中国对高端光掩模的需求快速增长,但技术研发、生产能力及产业

链整合方面仍面临诸多挑战。全球半导体光掩模版市场在2018年至2022年间

从40.4亿美元增长至49亿美元,年复合增长率达4.9%。预计到2025年,该

市场规模将进一步扩大至约55亿美元。亚化咨询研究认为我国2025年第三方

掩模版市场规模占比为70%左右:预计2030年中国掩模版市场规模有望达到

120亿元。


全球光掩模版市场主要由Photronics、日本凸版(Toppan)和大日本印刷(DNP)

三大企业主导,市场占有率超过80%。而在中国市场,路维光电、清溢光电、

冠石科技、龙图光罩等本土企业正在不断提升其市场竞争力,并在国产化替

代方面取得初步突破。


2023年我国半导体制造用光刻胶市场规模为39.6亿元,而国内企业半导体制

造用光刻胶销售收入仅为10.1亿元。预计2024年光刻胶销售收入达到13.1亿元。


在ArF光刻胶领域,国内厂商正在加快研发进程,并取得了核心突破。国内一

些光刻胶龙头企业如上海新阳、南大光电、容大感光、广信材料、晶瑞电材

等,在光刻胶的研发和生产方面取得了显著进展。据亚化咨询最新行业调研,

国内领先的光刻胶新锐企业还包括珠海基石(2022年成立)、国科天骥(2019年

成立)等。


“第2届光掩模与光刻胶产业论坛”将于5月28日召开。本次论坛由亚化咨询主办。此次会议将汇聚光掩模及光刻胶行业的领军企业、机构的技术和市场专家,探讨中国光掩模版产业的技术进展、市场机遇与挑战,以及产业前景展望.


会议主题

1.半导体产业与中国光掩模版市场机遇

2.高端光掩模版的国产化:挑战、技术突破项目投资

3.成熟制程光掩模版的优化:降本增效与工艺创新

4.极紫外光(EUV)掩模版技术

5.光掩模版精密检测与质量控制技术

6.光掩模版的技术与产业升级:从平板显示到集成电路

7.光掩模版生产关键设备:供应链瓶颈与国产替代方案

8.掩膜版的材料创新:新型基板材料、涂覆材料等

9.电子束(E-Beam)光刻技术对光掩模发展的影响

10.电子束光刻胶与其他光掩模版材料

11.光掩模版智能化制造与自动化检测

12.ArF光刻胶的研发现状及中国市场潜力

13.光刻胶在EUV与KrF技术中的应用与发展趋势

14.光刻胶关键材料国产化进程与国际合作


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项目内容

主题演讲

25分钟主题演讲

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现场展台

现场展示台,展示样品、资料,

含两个参会名额

现场易拉宝

现场1个易拉宝展示

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关于亚化咨询

亚化咨询是国内领先的新兴能源、材料领域的产业智库,2008年成立于上海浦东。业务范围:咨询研究、会议培训、产业中介。重点关注:新兴能源、材料产业,如煤化工、高端石化、光伏、氢能与燃料电池、生物能源材料、半导体、储能等。

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