金刚石“芯”势力！有哪些代表中国速度的MPCVD设备及材料企业？（二）

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启明会议 

5月22-24日，“2025未来半导体产业创新大会”将于江苏苏州（吴中希尔顿逸林酒店）召开。本次大会由国家第三代半导体创新中心（苏州）、西安交通大学、Flink 启明产链联合举办，并由赵正平、王宏兴、江南三位教授担任大会主席。

大会将以“金刚石+”为核心，围绕金刚石+化合物半导体、半导体用金刚石等关键产业应用难题，从高功率器件散热、晶圆衬底制备、异质融合、抛磨技术、封装集成等关键环节进行详细探讨。

金刚石是未来电子器件制造的理想材料，这类电子器件对高功率、高频、高温及低功率损耗等性能有极高要求，而金刚石凭借非凡性能被冠以 “终极半导体” 的美誉。在众多金刚石沉积方法里，MPCVD 沉积法在推动金刚石长期稳定生长方面有着不可比拟的优势。

于 MPCVD 金刚石薄膜沉积技术初诞之时，人们发现其存在金刚石薄膜沉积效率低的缺陷，而攻克这一难题的关键点在于提升 MPCVD 设备的输入功率。自 20 世纪 80 年代开始，通过优化 MPCVD 设备以增强金刚石薄膜沉积效率，便成为该技术领域的研究焦点。时至今日，依据 MPCVD 设备谐振腔形式的差异，其主要历经了石英管式、石英钟罩式、圆柱形谐振腔式以及环形天线式等多阶段的发展。伴随着 MPCVD 设备类型的持续演变，设备的输入功率亦实现了大幅跃升。

以下是我们整理的国内金刚石MPCVD长晶设备企业名单(排名不分先后），迎大家留言或添加微信补充。

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MPCVD装备

西安德盟特半导体科技有限公司是与西安交通大学宽禁带半导体研究中心联合的校企联盟的产学研高科技企业，集研发、生产制造、销售和贸易于一体，主要致力于半导体级高品质CVD单晶金刚石的研发、生产、加工及应用推广；科研及生产用MPCVD设备的开发、制造及相关部件的销售；半导体材料、器件、纳米材料的研发和生产；并开展相关产业的技术合作与服务。

深圳优普莱等离子体技术有限公司

深圳优普莱等离子体技术有限公司成立于2016年，专业从事微波等离子体应用技术研究开发和相关设备、产品的生产，致力于微波等离子体应用技术的产业化。深圳优普莱在东莞松山湖设有研发和生产基地，公司主要产品是各种微波等离子体设备，其中包括单晶/多晶金刚石生长设备，金刚石膜/石墨烯化学气相沉积设备，等离子体清洗设备，去光刻胶设备，流化床式粉末表面镀膜设备等。

河南天璇半导体科技有限责任公司（以下简称“天璇”）成立于2021年10月，为上市公司河南四方达超硬材料股份有限公司（股票代码：SZ300179，以下简称“四方达”）的子公司，目前已发展成为集先进技术、充足产能和完整供应链于一体的“超级工厂”。天璇作为国内少有的专注于采用自主研发的MPCVD设备以及CVD金刚石合成工艺生产碳基半导体材料、光学窗口材料、芯片热沉半导体、高纯度大尺寸培育钻石、特种超纯功能性金刚石的企业，致力于解决CVD金刚石产业链发展的关键技术，为客户提供最优质的新型功能性金刚石。

深圳超磁机器人科技有限公司

深圳超磁机器人科技有限公司成立于2017年，是一家专注于实验室自动化及实验室机器人研发、生产和销售的高科技企业。自成立以来，超磁已获得国家专利两百余项，被授予“深圳市工业机器人大师工作室”称号，获得国家高新科技企业认证、深圳市“专精特新”中小企业认证。在自动化设备研发的深厚根基之上，公司成功研发出MPCVD （微波等离子体化学气相沉积）设备，并顺利生产出单晶金刚石与多晶金刚石材料。超磁的产品和服务有：实验室机器人及自动化解决方案、MPCVD整机设备和配件、进口电源、电源升级、MPCVD设备升级（6KW升级到10KW）、单晶金刚石、多晶金刚石等。

郑州势垒科技有限公司

河南碳真芯材科技有限公司

鹏城半导体技术(深圳)有限公司，由哈尔滨工业大学(深圳)与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体工艺和装备的设计中心生产制造基地。公司核心业务是微纳技术与高端精密制造，具体应用领域包括半导体材料、半导体工艺和半导体装备的研发设计、生产制造、工艺技术服务及半导体装备的升级改造，可为用户提供工艺研发和打样。

成都华宇东升微波设备有限公司

西安英特斯克半导体科技有限公司 

杭州芯石器科技公司

杭州芯石器科技公司，公司创始于2011年，为亚洲地区最早专业生产功能性大单晶金刚石（宝石级）的科技企业之一，是国内金刚石热沉大规模商业化解决方案的积极推动者。从事金刚石半导体材料综合装备和金刚石材料研发、生产10多年 ，由浙商企业家、投资银行专家，专家工程师联合创办，基地位主要位于杭州及周边城市。功能性金刚石等第三代、第四代宽禁带半导体材料装备产业化。与高校，半导体上市公司形成紧密合作。企业家+科学家”黄金组合的创新联合方式，一切围绕商业化目标，有力打通金刚石功能性应用中各长晶、切、磨抛及应用各自为政的环节壁障。2025年下半年芯石器还将推出一些解决当下产业卡脖子问题的产品，比如：核心件，比如新型切磨抛、超级单晶大片、未来工厂等。

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配套零部件

安徽明辨电子科技有限公司

安徽明辨电子科技有限公司是一家国家级高新技术企业，专注于工业微波能应用领域提供高品质的微波能发生器、高频微波电源及其系统解决方案。产品技术获安徽省科学技术奖二等奖，达到国际同等水平，知识产权自主可控，全面实现国产化，可完全替代国外同类型产品，并出口国外多个国家微波能发生器频率主要有915MHz、2450MHz、5.8GHz功率从1kW~100kW全系列;设有本地、远程和通信等多种控制方式，实现微波功率从10%~100%连续精准调节。产品广泛应用于CVD、微波等离子体火炬、微波等离子清洗、微波解冻、杀菌、医疗固废物处理等领域。

深圳麦格米特电气股份有限公司

深圳麦格米特电气股份有限公司(深交所挂牌上市，股票代码:002851)成立于2003年，注册资本金4.98亿，是一家以电力电子及工业控制为核心技术，从事电气自动化领域软硬件和系统解决方案的研发、生产、销售与服务的高科技公司。公司业务领域涵盖工业电源、工业自动化、新能源汽车及轨道交通、智能家电、家用及工业微波能应用和高端智能制造，微波能应用领域目前主要集中在频率2,45GHZ 1kw-15kw，915MHZ 5KW-100kw 干燥，杀菌，解冻领域及射频半导体领域13.56MHZ 1kw-24KW， 27.12MHZ 3kw-20Kw 等其他频率的定制开发。总部位于深圳科技园，拥有8000多名员工，业务面向全球40多个国家和地区。公司致力于人类更加高效使用电能生产效率持续改进。

四川英杰电气股份有限公司

四川英杰电气股份有限公司成立于1996年，总部位于四川德阳，是一家专业的工业电源设计及制造企业。公司于2020年2月在深交所创业板上市。近三十年来始终坚持自主研发、持续创新，以“提供优质的创新产品和服务，为客户创造更大价值”为使命。产品广泛服务于微波、核电、石油、化工、冶金、机械、建材等传统行业以及光伏、半导体、环保、储能、制氢、锂电、充电桩、新材料、航空航天、大科学装置等新兴行业。主要产品包括：微波电源、功率控制器、交/直流电源、编程电源、射频电源、溅射电源、感应电源、高压电源、特种电源、新能源汽车充电桩、电化学储能等。

成都沃特塞恩电子技术有限公司

成都沃特塞恩电子技术有限公司是位于中国成都的一家专注于微波/射频能量应用及加速器高频功率系统应用的国家级高新技术企业，从事基于半导体功率器件和以高频高功率技术为核心专长的全固态功率源和射频电源的研发、生产和销售。

南京三乐微波技术发展有限公司

南京三乐微波技术发展有限公司，是南京三乐集团有限公司的全资子公司，是国内微波管研制以及开展微波能技术应用的开创者，于1973年在国内率先研制工业加热用磁控管并形成系列产品，开发了各类微波能应用设备达100多种。多年来，获得国家、部、省、市级科技成果一、二、三等各类奖50多项。获得专利75项、软件著作权8项，其中专利授权27项、发明授权10项、实用新型授权17项，是中国工业微波应用技术发源地，属于国家定点的微波能推广应用站，研制开发了国内第一只微波磁控管、第一套微波能应用整机、第一台国产微波炉。

北京华丞电子有限公司

北京华丞电子有限公司（简称：华丞电子）原名北京七星华创流量计有限公司，在传承四十余年流量测控经验技术的基础上，整合融入射频控制、自动化控制等专业技术优势和创新能力，致力于为半导体、清洁能源、生命科学及科学研究四大领域用户，提供精密流体控制、等离子控制、运动控制零部件产品解决方案。 

 华丞电子秉承“以客户需求为导向的持续创新"理念，精研需求、尊重科学、潜心技术、持续创新，形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化部件等系列产品。公司已布局六大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚主要国家和地区。   

陕西易度智能科技有限公司

陕西易度智能科技有限公司（简称“易度智能”）是西北工业大学航空宇航专业背景的数名博士后、博士研发团队创立的专注于研发高精度层流质量流量计和控制器等产品的企业，公司坚持自主研发十余年，在层流压差式原理尤其是微流量测控领域拥有深厚技术积累，目前已取得20余项创新型专利技术，几十项国内外权威认证。是国内目前唯一通过中国计量科学研究院认证的层流质量流量计和控制器制造商，也是全球第二家有能力生产通用型层流质量流量计的高新技术企业。公司自主研发的层流质量流量计和质量流量控制器产品具有高重复性、高精度和快速响应等核心优势，目前产品销往全国及欧洲、北美、东南亚、中东等世界各地，为客户提供优质的产品及技术解决方案。

天津吉思特仪器仪表有限公司

天津吉思特仪器仪表有限公司 成立于2013年，是一家专业从事核心零部件研发与制造厂商。吉思特仪器始终坚持着贴近用户、不断探索、深入研究、产品创新的精神，经过多年的研发创新和产品迭代升级，为客户提供更优质的流量测控、压力测控、气路系统、驱动控制等系列产品。

上海麦曲能源科技有限公司

上海麦曲能源科技有限公司 坐落于上海，其母公司位于香港，是一家集设计、研发、制造、销售于一体的创新型企业。作为美国派克汉尼汾公司的授权分销商，我们拥有和Parker多年的合作背景，一直以“用户至上，市场为尊”的理念。  公司主要经营产品：气体发生器、超纯水机、空压机、过滤器、仪表管阀件、密封材料、自动化产品等，涉及行业包括食品饮料、实验室及分析、生命科学、医疗、微电子、石油天然气、石化及化工、制药、超洁净（半导体、太阳能、光电）等。在CVD行业中，麦曲能源所提供的Parker品牌制氢机在国内市场已近千台，拥有多年知名大厂服务经验，并获得客户的一致好评，同时公司可提供CVD特气管路工程系统的设计安装一站式服务，通过我们的专业服务让客户无后顾之忧。

普敦实验室设备（上海）有限公司

普敦实验室设备（上海）有限公司 又称普敦科技，成立于2018年，总部位于上海漕河泾光华园。2021年，普敦科技由意大利LNI Swissgas注资，成为LNI子公司，全面打造以本土品牌与进口品牌共同经营为特色的双品牌整合发展之路。 

 普敦科技充分利用产品间的互补优势不断丰富扩展，目前公司的产品线包含气体发生器、气体混配器、大流量制氢/氮/氧机、磁性固相萃取仪、基因芯片等一系列产品，覆盖了临床、医疗、石化、检测等诸多行业。 

上海唐亚过滤器材有限公司

上海唐亚 是美国派克汉尼汾公司中国区的授权分销商，同时也是派克过滤集团亚太地区最大的分销商。在中高端工业流体控制领域，尤其是过滤和管阀件的应用点，上海唐亚凭借派克优质的产品和丰富的产品线，致力于为用户提供专业、有效的集成方案，协助用户提升市场竞争力，早日实现盈利目标。 

 上海唐亚为CVD行业提供的产品包括进口氢气发生器、甲烷纯化器、氢气纯化器及配套管路控制元件等。更为可贵的是，上海唐亚拥有卓越的整体设计能力，能够提供一站式服务和先进的数字化气源控制系统，为稳定制成工艺提供有力保障。而这一服务已经得到了众多客户的高度认可，业务正在不断扩展。

普拉勒（南京）仪器科技有限公司

普拉勒（南京）仪器科技有限公司 PECULIAR (UK) INSTRUMENT TECHNOLOGY LIMITED 是实验室前处理设备（气体发生器、降噪设备、纯水设备）的主要供应商，欧洲（英国、德国）和亚洲（北京）地区三大生产基地，超过十几年的实验室前处理产品研发和制造历史，不断追求技术革新，其产品广泛应用于制药、食品、环保、生物、石化、烟草、出入境检验疫、疾病控制、科研院所等分析实验室。为现代化的分析实验室提供理想的前处理系统解决方案。

北京中惠普分析技术研究所

北京中惠普分析技术研究所 成立于1994年，是国内最早、规模最大的实验室气体发生器生产厂家之一，产品涵盖高纯度氢气发生器、高纯度氮气发生器、零级空气源等各种类型发生器。 

 成立30年来累计生产销售氢气发生器逾18万台，其中电解纯水（PEM）氢气发生器自2002年自研成功投放市场到如今累计生产销售逾2万台，在实验室和工业领域有较高的占用率。产品涵盖常规系列、超纯系列及高压系列，纯度最高可达99.99999%以上（钯管），输出压力最高可达10MPa，单台流量范围从50ml/min到2立方/小时。

上海先普气体技术有限公司

上海先普气体技术有限公司 是经国家认定的高新技术企业和上海市专精特新企业，于2004年在上海成立，是一家专业从事应用于半导体行业的气体纯化设备供应商，在充分掌握国际先进气体纯化核心技术的基础上，通过不断的研究创新，经历二十年国产化道路，持有六十项专利，主笔起草一项国家标准，自主开发了十几个系列上百种产品。

北京朗润达科贸有限公司

北京朗润达科贸有限公司成立于1998年，是DWYER、ALICAT、SERA等国际知名仪器仪表品牌的中国代理商，在上海、广州、山东设有办事处。公司专注于提供差压、压力、流量、温湿度、真空、泄漏、阀门、压缩机等领域的上万种仪器仪表，产品广泛应用于暖通空调、电力、石油化工、微电子、食品医药、环保、航空航天等行业。凭借多年在仪器仪表、DCS、反应装置领域的经验，为清华、北大、浙大、中科院等知名高校和科研机构提供专业服务。

上海欧格斯特气体技术中心

上海欧格斯特气体技术中心自2019年成立以来，专注于气体纯化、流量控制、压力控制及真空获得等前沿技术的创新与应用。我们的产品广泛应用于科研院所、光能产业、半导体前道量测与清洗设备、MOCVD、ALD、真空冶金、真空镀膜及真空钎焊等多个高端领域。凭借卓越的技术实力，我们的9N气体纯化与流量控制模块化产品已成功打入一流半导体芯片制造厂，赢得了市场的广泛认可与信赖。

昆山国力电子科技股份有限公司

昆山国力电子科技股份有限公司（证券简称：国力股份，股票代码：688103）旗下全资子公司——昆山国力电子有限公司（以下简称"国力电子"），创立于2007年，依托母公司六十余年的电真空技术积淀及国力研究院的前沿科研平台，构建了涵盖核心材料研发、关键部件设计到系统集成制造的完整技术体系。公司专注于大功率电真空器件的研发与智造，产品包括：大功率速调管、磁控管、氢闸流管、高压电子枪及耦合器等核心有源器件，为大科学装置、高能物理研究、高端医疗设备及工业辐照等领域提供定制化解决方案。

浙江飞越机电有限公司

VALUE飞越是一家致力于真空设备研发生产的企业，现已在108个国家建有“VALUE”自主品牌销售渠道，并为超过10家世界500强企业提供服务。凭借在真空领域20多年的经验，VALUE飞越可提供种类齐全的产品和最可靠的工业真空技术，满足各种不同行业的需求。并完善了以“速度、创新、高品质”为核心的能力，致力于为全球客户提供创新、高品质的真空设备，帮助客户更高效率、更高质量地完成工作。

宁波鲍斯能源装备股份有限公司

宁波鲍斯能源装备股份有限公司始创于2005年，2015年4月在深圳证券交易所挂牌上市（股票代码：300441）。公司总部位于蒋氏故里弥勒圣地--奉化，公司以夯实的高端精密零部件制造为基础，同时向高端合金材料制造和设备及成套系统两端扩展，以实现能和谐发展，拥有高端制造核心技术的现代化企业为发展目标。公司以学习、和谐、坚持、专业为企业文化，倡导弥勒文化，弘扬弥勒精神。

上海华械自动化设备有限公司

上海华械自动化设备有限公司自2011年成立以来一直致力于流量、压力的传感与控制，公司以其多年在各个行业累计的技术力量和优秀的售后服务在中国的新能源(光伏、燃料电池、风能等)、生物医疗、半导体、气体分析、石化、冶金、食品、造纸、水处理、工业炉等领域拥有大量客户，特别擅长为各类成套成套设备提供技术解决方案等，不只是提供产品，更多的是提供技术支持服务。

成都睿宝电子科技有限公司

成都睿宝电子科技有限公司（以下简称“睿宝科技”）是一家集研发、生产和销售服务为一体的国家级高新技术企业、四川省专精特新企业，是专业提供真空检测产品和技术解决方案的供应商。深耕于真空检测领域二十余年，始终以技术创新为基点，专注于真空检测产品的高质量、高性能和高可靠性方面的研究。业务领域覆盖真空测量、质谱检漏、流量计等。产品广泛应用到科研院所、太阳能、半导体、冶金、真空镀膜、制冷、制药、食品等领域。 

 近年来，睿宝科技持续加大技术创新投入，自主研发新一代“REBORN”品牌，致力于为全球用户提供技术领先、高品质的真空检测产品。

浙江卓捷真空技术有限公司

浙江卓捷真空技术有限公司，成立于2013年，是一家依靠英国先进技术、资深海归工程师团队组成，以真空设备生产，销售和维修为主，集科研开发、工程项目、技术服务于一体的高新技术企业。  浙江卓捷利用机械加工行业30多年的生产研发和卓越管理经验，采用军工级加工设备，确保配件的高精度适配性，配置高品质和持久耐用的关键零部件，开发了外形美观，结构紧凑，抽气速度快，真空度高，噪音小，散热快，真空度保留时间长等多款双级旋片直联真空泵，真空泵的应用行业包括实验室、分析仪器、医疗设备、医药化工、自动化搬运、半导体、液晶面板、新能源、锂电池、科研等广大领域。 浙江卓捷拥有一支训练有素、经验丰富的技术骨干队伍。

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大会概况

在人工智能、量子计算与新能源革命的浪潮下，半导体产业正面临性能迭代与材料创新的双重挑战。金刚石凭借其超宽禁带、高热导率及高电子迁移率等特性，被视为突破传统硅基材料性能极限的关键候选。其战略价值不仅体现在单一材料优势，更在于其跨越材料体系，与第三代半导体（如碳化硅、氮化镓）及碳基电子技术、第四代（氧化镓）半导体的协同创新潜力。然而，当前金刚石在半导体产业中的发展仍面临多重瓶颈。

面对未来产业对小型化、低功耗芯片的迫切需求，金刚石技术商业化亟需打通材料研发、装备升级、终端验证的产业闭环。本届大会从氮化镓、碳化硅、金刚石、氧化镓等新一代半导体材料入手，重点聚焦生长、异质集成、封装、晶圆减薄、平坦化工艺以及高功率器件散热解决方案上，旨在搭建产学研协同平台，推动金刚石与其他半导体技术的深度融合，探索新型半导体材料与未来产业需求的适配路径，为构建可持续的半导体供应链体系提供创新动能。

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日程安排

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组织机构

主办单位：西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室、Flink启明产链

协办单位：国家第三代半导体创新中心（苏州）

支持单位：中国国际科技促进会半导体产业发展分会

承办单位：宁波启明产链信息科技有限公司

大会主席：赵正平 中国电子科技集团有限公司研究员、王宏兴 西安交通大学教授

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协议酒店

会议酒店协议价：

▶ 吴中希尔顿逸林酒店，500元/间/晚（大标同价）；

▶ 希尔顿花园酒店大床房，360元/间/晚（大标同价）；

交通路线

1）飞机

▶ 无锡硕放机场T2（国内）航站楼——苏州吴中希尔顿逸林酒店

扫码一键至高德地图导航页面

（驾车全程60km，预计55分钟）

▶ 上海虹桥机场T2（国内）航站楼——苏州吴中希尔顿逸林酒店

扫码一键至高德地图导航页面

（驾车全程80km，预计1h）

2）高铁

▶ 苏州站——苏州吴中希尔顿逸林酒店

地铁：全程16站，预计1h

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参会注册