晶圆厂扩产提速, 新一轮集成电路设备采购大潮已经到来

EDA365 2019-09-25 11:48


今年多个晶圆产线投产,意味着大陆晶圆厂将陆续进入下一轮设备采购密集期。约占全球1/4的中国大陆半导体设备市场,在今年下半年开启新一轮设备采购大潮。

已进入中芯国际、长江存储、合肥长鑫、华力二期、华虹七厂等的国产工艺设备,将显著受益于中国大陆新一轮设备采购,但也面临来自国际一流进口品牌的价格竞争压力。


今年大陆多个晶圆厂陆续投产/量产


9月,华虹半导体(无锡)项目、广州粤芯半导体项目、合肥长鑫DRAM项目均正式投产。今年年底到明年年初,国内包括燕东微电子、上海积塔半导体等的多条8寸线也将陆续投产。


长江存储: 已启动新一轮设备采购工作


据DRAMeXchange显示, 今年年底长江存储预计正式量产64层堆栈的3D Nand,明年开始逐步提升产能,预计2020年底有望将产能提升至月产6万片晶圆的规模,且 2020年会生产128层堆栈3D Nand。


根据长江存储扩产节奏, 我们估计今年一季度产能达到5K 片/月,到今年年底产能达到2-2.5万片/月,如果要达到明年年底 6 万片/月的产能目标,还需采购3-3.5 万片/月的工艺设备。


从长江存储的光刻机采购进度看, 2017年二季度至2019年一季度,累计采购19台光刻机,其中7台来自 Canon, 12台来自ASML。2019年三季度,长江存储公布新招标4台光刻机设备,包括3台 248nm光刻机和1台浸没式光刻机。

长江存储近期公布了第27-29批设备招标清单, 工艺设备采购约100台, 其中CVD占比 39%,刻蚀设备占比21%、热处理设备占比15%,其他工艺设备分别占比1%-5%。



华力二期: 正处于新一轮设备采购中


根据电子工程世界等, 2018年10月18日,华力微电子二期12寸先进生产线正式建成投片, 产能达到1万片/月。


华力二期12英寸项目2016年9月正式启动,总投资387亿元,项目在浦东新区康桥工业区南区建设一条月产能4万片,工艺为28-20-14纳米的12英寸集成电路芯片生产线。


根据中国国际招标网, 华力二期集中在2017年9月和11月合计集中采购了7台光刻机,2019年7月新采购了3台光刻机。 华力二期光刻机100%都由荷兰ASML供应。



华虹无锡: 也处在新一轮设备采购中


2018年4月3日,华虹集团宣布位于无锡的华虹半导体七厂开工, 总投资100亿美元,一期项目总投资约25亿美元,新建一条工艺等级90-65/55nm、月产能约4万片的12英寸特色工艺集成电路生产线,支持5G和物联网等新兴领域的应用。


今年9月17日,华虹集团宣布旗下华虹半导体(无锡)有限公司的12英寸晶圆厂正式投产,主要生产55nm工艺特种芯片。


根据中国国际招标网,华虹无锡集中在2018年11月集中采购了4台光刻机, 2019年 8月新采购了2台 365nm中紫外线扫描式光刻机。华虹无锡光刻机100%都由荷兰ASML供应。


小结


部分国产集成电路工艺设备已有一定市场地位,但在新一轮晶圆厂的设备采购中, 来自国际一流进口品牌的价格竞争压力加大。 

综合长江存储、华力二期、华虹七厂的设备采购情况,工艺设备平均国产化率仅为10%左右,国产化程度较高的是去胶设备、热处理、 清洗设备、 刻蚀机、 PVD、 CMP和镀铜设备,国产化率分别为 87%、 25%、 22%、 21%、 13%、 12%、 11%。


在新一轮设备采购中, 这些国产设备有机会继续扩大市场份额,但我们估计, 仍处于绝对垄断地位的国际进口品牌,将会采用通过降低价格来稳定市占率的竞争策略, 给国产设备带来成本压力。




(来源:中银国际证券

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