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中国大陆晶圆厂跟踪调研:2019年大尺寸硅片布局情况中期汇总

时间:2019-07-24 作者:赵元闯 阅读:
目前国内12吋晶圆几乎全部靠进口,国内的12吋硅片月生产量约5万片。由于晶圆厂建好后,可能要面临无米下锅的局面。为了弥补半导体硅晶圆的供应缺口,降低进口仰赖程度,我国正积极迈向8吋与12吋硅片生产,多项重大投资正在启动中,大都锁定12吋硅晶圆,当然8吋项目也不少。

2019年6月,芯思想发布了《中国大陆晶圆厂跟踪调研:2019年FAB情况跟踪调查中期盘点》,有朋友提出要对国内大硅片进行整理。今天特别推出《2019年中国大尺寸硅片布局情况中期汇总》。sDYEETC-电子工程专辑

目前国内12吋晶圆几乎全部靠进口,国内的12吋硅片月生产量约5万片。由于晶圆厂建好后,可能要面临无米下锅的局面。为了弥补半导体硅晶圆的供应缺口,降低进口仰赖程度,我国正积极迈向8吋与12吋硅片生产,多项重大投资正在启动中,大都锁定12吋硅晶圆,当然8吋项目也不少。sDYEETC-电子工程专辑

芯思想研究院对国内的大硅片生产布局进行了调研整理。sDYEETC-电子工程专辑

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芯思想研究院调研发现,目前宣布的12吋硅片项目多达20个,根据各家公司公布情况来看,总投资金额超过1400亿,12吋硅片总规划月产能到2023年前后合计超过650万片,如果加上天芯硅片、中芯环球、济南项目,12吋硅片总规划月产能将可能高达800万片,约是2018年全球12吋硅片月需求的2倍。sDYEETC-电子工程专辑

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目前,国产硅片供应商主要是集中在供应8吋及以下硅片,无法满足主流需求。国内大硅片牢牢掌控在海外厂家手中,这对国内半导体产业国产化而言始终是一大隐患。因此,推动半导体产业发展,上游材料端必须与之配套加快国产化进程。2016年《中国集成电路产业“十三五”发展规划建议》中提出,在材料领域,力争到2020年关键材料产业化技术水平达到40-28nm工艺要求,实现产业化,部分专业领域推进到20-14nm,培育2-3家材料企业成为全球知名品牌。sDYEETC-电子工程专辑

中国大陆多个12吋大硅片项目开工建设,将引发人才抢夺大战。全球12吋大硅片人才本就缺乏,如何做好人才引智工作将是考验各个项目成败的关键。sDYEETC-电子工程专辑

大硅片项目情况 

1、硅产业集团

1.1上海新昇半导体科技有限公司sDYEETC-电子工程专辑

上海新昇半导体科技有限公司(上海新昇)成立于2014年6月,致力于在我国研究、开发适用于尖端工艺节点的12吋硅单晶生长、硅片加工、外延片制备、硅片分析检测等硅片产业化成套量产工艺,建设12吋半导体硅片的生产基地,实现12吋半导体硅片的国产化。sDYEETC-电子工程专辑

项目总投资68亿元,其中一期总投资23亿元,专注40-28nm工艺节点的12吋硅单晶生长、硅片加工、外延片制备。sDYEETC-电子工程专辑

2016年10月成功拉出第一根12吋单晶硅锭。sDYEETC-电子工程专辑

2017年打通12吋硅片全工艺流程,从2017年第二季度已经开始向中芯国际等芯片代工企业提供40-28nm工艺节点12吋硅片样片进行认证,并有挡片、陪片、测试片等产品持续销售,正式出货并实现小批量销售。sDYEETC-电子工程专辑

2018年实现了12吋硅片的规模化生产;一季度末,通过上海华力微电子有限公司的认证并开始销售。2018年实现收入超过2亿元。在第一期月产能10万硅片产能建设完成的同时,启动第二个月产能10万硅片产能的建设。sDYEETC-电子工程专辑

目前正在研发20-14nm工艺节点12吋硅片,规划建设月产能达5万片20-14nm工艺节点12吋硅片生产线。sDYEETC-电子工程专辑

预估2019年实现月产能20万片,2020年底实现月产能30万片,最终将形成月产60万片12吋硅片的产能。未来甚至可能高达月产100万片规模。sDYEETC-电子工程专辑

1.2 新傲科技sDYEETC-电子工程专辑

2016年,新傲科技宣布首个采用Soitec专有Smart Cut技术制作的200mm SOI晶圆在上海生产成功,经过扩产,目前年产能已达18万片。sDYEETC-电子工程专辑

为了更好地服务全球市场对RF-SOI和Power-SOI产品的增长性需求,2019年2月,新傲科技宣布扩大200mm SOI晶圆年产量,从年产18万片增加至36万片。sDYEETC-电子工程专辑

同时,新傲科技还在规划12吋SOI生产线,为未来毫米波射频器件和FD-SOI做好准备。sDYEETC-电子工程专辑

2、超硅半导体

2.1 上海超硅半导体有限公司sDYEETC-电子工程专辑

2018年7月30日,上海超硅半导体有限公司12吋全自动智能化生产线项目开工建设。该项目一期投资60亿元,建设周期为1.5年,预计2019年9月设备搬入,2019年12月产品下线。sDYEETC-电子工程专辑

总投资预计达到100亿元。据悉,还将建设18吋中试生产线,项目建成后将形成年产360万片12吋硅片和外延片以及12万片18吋抛片生产能力。sDYEETC-电子工程专辑

另外上海超硅半导体有限公司持有重庆超硅半导体有限公司7.35%、成都超硅半导体有限公司5%的股份。sDYEETC-电子工程专辑

2.2 重庆超硅半导体有限公司sDYEETC-电子工程专辑

重庆超硅项目总投资50亿元,分三期建设,三期建设完成达产后将实现月产50万片8吋硅片和月产5万片12吋硅片的产能。sDYEETC-电子工程专辑

一期项目投资20亿元,主要生产极大规模集成电路用8吋/12吋单晶硅晶体生长、硅片抛光及其延伸产品,建设年产180万片硅片的产能。sDYEETC-电子工程专辑

一期项目于2014年5月开工,2016年4月投入试生产;2016年5月第一根集成电路级8吋单晶硅棒成功拉出;2016年9月第一根集成电路级12吋单晶硅棒成功拉出;2016年10月28日 第一批集成电路级单晶硅晶体生长和抛光片顺利下线;2016年底成功实现8吋硅片加工整线试生产、12吋晶体生长,同时启动了12吋硅片加工生产线建设;2017年1月20日第一批8吋硅片产品出厂发货;2018年3月,在SEMICON CHINA2018上展示了国内第一根18吋集成电路用单晶硅棒。至此,公司已经完成8吋、12吋、18吋单晶硅棒的拉制工作。sDYEETC-电子工程专辑

重庆超硅的8吋硅片已经供不应求,2018年安装多套关键设备,2018年底月产能超过10万片;12吋硅片目前已经在厂商验证,2018年底形成25000片的产能。sDYEETC-电子工程专辑

2.3 成都超硅半导体有限公司sDYEETC-电子工程专辑

2017年8月云南城投集团与邛崃市人民政府签署《成都超硅半导体生产基地项目》协议,协议中商定将在邛崃市建设超硅半导体生产基地。sDYEETC-电子工程专辑

项目总投资50亿元,主要建设两条12吋晶圆生产线。,项目达产后,可实现月产50万片12吋硅片的产能。sDYEETC-电子工程专辑

项目于2018年3月31日举行开工典礼,还没有进行实质建设。sDYEETC-电子工程专辑

3、中环半导体

中环股份的8-12吋大硅片项目,晶体生长环节在内蒙古呼和浩特,抛光片环节在天津和江苏宜兴。sDYEETC-电子工程专辑

3.1 天津中环领先材料技术有限公司sDYEETC-电子工程专辑

中环领先的8吋半导体区熔硅片实现量产,产能已陆续释放,进一步确立了公司在区熔抛光片市场的地位。2018年未公司8吋抛光片月产能已达到30万片,年产量为 3.8亿平方吋;8寸区熔单晶硅片主要是满足IGBT 器件领域。sDYEETC-电子工程专辑

12吋抛光片试验线实现月产能2万片,是中国大陆第一家、全球第三家做12吋功率硅片的工厂,目前有约10家客户在认证。sDYEETC-电子工程专辑

3.2 中环领先半导体材料有限公司sDYEETC-电子工程专辑

2017年10 月12日,中环股份、晶盛机电、无锡市政府签署战略合作协议,三方或以产业基金形式确定项目投资主体,共同在无锡宜兴启动建设集成电路用大硅片生产与制造项目。2019年中环领先集成电路用大硅片项目入选江苏省级重大产业项目。sDYEETC-电子工程专辑

中环领先集成电路项目,总投资约30亿美元,分两期实施,由三方共同出资:天津中环半导体股份有限公司和中环香港控股有限公司合计出资60%,无锡产业发展集团旗下锡投产业(香港)有限公司出资30%,浙江晶盛机电股份有限公司出资10%。sDYEETC-电子工程专辑

2017年12月14日注册成立项目公司--中环领先半导体材料有限公司(中环领先)。sDYEETC-电子工程专辑

2017年12月28日,项目一期开工建设,投资15亿美元,其中装备投入60亿元,建设两条8吋生产线,月产能75万片;一条12吋试验线,月产能2万片;一条12吋生产线,月产能15万片。sDYEETC-电子工程专辑

项目一期于2019年2月进行试生产8吋硅片,7月将进行规模化投产;12吋功率硅片生产线将在2019年下半年进行设备安装调试。sDYEETC-电子工程专辑

项目二期将于2020年开工建设,投资15亿美元,建设两条12吋生产线,月产能35万片。sDYEETC-电子工程专辑

整个项目投产以后将实现年产8吋抛光片900万片和12吋抛光片600万片的产能。sDYEETC-电子工程专辑

4、立昂微电子

4.1 浙江金瑞泓科技股份有限公司sDYEETC-电子工程专辑

浙江金瑞泓科技股份有限公司是一家致力于半导体材料研发与生产的高新技术企业,是8具有硅单晶锭、硅研磨片、硅抛光片、硅外延片、芯片制造的完整产业链的半导体企业。拥有完备的4吋、5吋、6吋及8吋硅片产品结构,形成了集成电路与分立器件、轻掺杂与重掺杂、抛光片与外延片并重的特色。硅片年产能达到近800万片,可以生产5000多种技术规格的硅片产品。sDYEETC-电子工程专辑

2010年,牵头承担“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项,并于2017年5月通过国家验收,具备了8吋硅片月产12万片的大规模产业化能力,掌握了12吋硅片核心技术。sDYEETC-电子工程专辑

2009年公司率先打破我国8吋硅片全部依赖进口的局面,实现8吋硅片正式销售。拥有减压充氮直拉硅单晶、微量掺锗直拉硅单晶及重掺磷、硼、锑、砷硅单晶成套技术等数项具有自主知识产权的核心技术及独特的技术诀窍。sDYEETC-电子工程专辑

公司是ONSEMI(安森美)、AOS(万代)、TOSHIBA(东芝)、NXP(恩智普)等国际知名半导体公司的稳定供应商,也是中芯国际、华虹宏力、华润上华、中航微电子、杭州士兰微等国内主要半导体企业的重要供应商。sDYEETC-电子工程专辑

4.2 金瑞泓科技(衢州)有限公司sDYEETC-电子工程专辑

金瑞泓科技(衢州)有限公司项目规划总投资50亿元,建成月产40万片8吋硅片和月产10万片12吋硅片的项目规模。sDYEETC-电子工程专辑

项目计划分三期逐步实施。一期总投资约7亿元,建设周期为2017年至2019年,用地100亩,计划2017年建成月产10万片8吋硅外延片项目;二三期项目总投资43亿元,用地120亩,将形成月产30万片8吋硅片项目生产线和月产10万片12吋硅片项目生产线,填补国内12吋硅片生产线的空白。sDYEETC-电子工程专辑

2017年一期项目主体厂房已经建成,8吋硅外延生产线在2018年4月建成投产并实现批量销售,8吋的单晶、切、磨、抛厂房将在2019年三季度建成投产,届时将全线拉通8吋硅单晶、硅抛光片、硅外延片生产线。sDYEETC-电子工程专辑

4.3 金瑞泓微电子(衢州)有限公司sDYEETC-电子工程专辑

2018年5月30日,由杭州立昂微电子股份有限公司投资83亿元、年产360万片集成电路用12吋硅片项目正式签约。sDYEETC-电子工程专辑

2018年9月19日,项目承担单位金瑞泓微电子(衢州)有限公司成立,并引入上游多晶硅企业青海黄河上游水电开发有限责任公司作为股东。sDYEETC-电子工程专辑

项目一期投资35亿元,租用金瑞泓科技(衢州)有限公司约70亩土地及地面约4万平方米左右厂房,建设年产180万片集成电路用12吋硅片项目。二期投资48亿元,建设年产180万片集成电路用12吋硅片项目。sDYEETC-电子工程专辑

2019年7月2日,首根12吋半导体级硅单晶棒顺利出炉。sDYEETC-电子工程专辑

5、山东有研半导体材料有限公司 

2018年7月26日,山东有研半导体材料有限公司落户德州,是有研半导体材料有限公司投资的大硅片项目。项目已经入选2019年山东省重点建设项目名单和山东省新旧动能转换重大项目库。sDYEETC-电子工程专辑

项目总投资80亿元,分两期进行建设。sDYEETC-电子工程专辑

一期建设项目总投资18亿元,分为两大部分,一是搬迁北京的旧产线(包括8吋、6吋产线),二是新上一条年产180万片8吋硅片生产线。sDYEETC-电子工程专辑

一期项目于2019年3月开工,目前正在进行桩基施工,计划2020年底投产。项目全部达产后,可年产8吋硅片276万片、6吋硅片180万片、大直径硅单晶300吨。sDYEETC-电子工程专辑

二期项目计划投资62亿元,建设年产360万片12吋硅片,将于明年初开工,2021年底建成投产。sDYEETC-电子工程专辑

6、申和热磁

6.1 杭州中芯晶圆半导体股份有限公司sDYEETC-电子工程专辑

杭州中芯晶圆半导体股份有限公司成立于2017年9月28日,由于上海申和热磁电子有限公司、杭州大和热磁电子有限公司、株式会社フェローテックホールディングス联合成立。sDYEETC-电子工程专辑

2017年12月18日,项目正式开工,一期项目包括三条8吋、两条12吋(300mm)半导体硅片生产线。建设月产35万片8吋硅片项目和月产20万片12吋硅片项目,总投资60亿元。sDYEETC-电子工程专辑

2018年5月28日,中建一局建设发展公司中标杭州中芯晶圆半导体股份有限公司半导体大硅片项目施工总承包工程。该项目位于杭州市萧山区大江东产业集聚区,厂区建筑物占地面积约5.7万平方米,建筑总面积约为17.8万平方米,其中包括1#生产调度厂房(FAB)、2#切磨抛厂房1(FAB1)、3#切磨抛厂房2(FAB2)、4#动力站及废水站(CUB)和其他附属栋建筑。sDYEETC-电子工程专辑

2019年6月试投产,首批8吋硅抛光片顺利下线。sDYEETC-电子工程专辑

6.2 宁夏银和半导体科技有限公司sDYEETC-电子工程专辑

宁夏银和半导体科技有限公司成立于2015年12月14日,是杭州中芯晶圆半导体股份有限公司的全资子公司。sDYEETC-电子工程专辑

2016年4月12日,宁夏银和半导体科技有限公司开工,项目总投资31亿元。sDYEETC-电子工程专辑

2017年7月6日,一期项目年产180万片8吋硅片项目正式竣工投产。sDYEETC-电子工程专辑

2018年3月18日,总投资60亿元的二期项目开工,项目建成后,可年产420万片8吋硅片和年产240万片12吋硅片。sDYEETC-电子工程专辑

7、郑州合晶硅材料有限公司

 郑州合晶硅材料有限公司成立于2017年2月23日,是上海合晶硅材料有限公司的全资子公司。sDYEETC-电子工程专辑

 郑州合晶项目计划总投资57亿元。项目共分两期实施,一期投资12亿元,建设满足月产能20万片8吋硅片,二期投资45亿元,建设满足产能为月产20万片12吋硅片和月产外延片7万片。sDYEETC-电子工程专辑

 一期于2017年7月27日开工建设,2018年6月25日完成首根200毫米单晶硅棒的拉制,2018年10月26日一期200毫米硅单晶生产线的全面竣工投产。sDYEETC-电子工程专辑

注:由于台湾合晶股份都还没有能力生产12吋硅片,估计二期的12吋的路还很漫长。sDYEETC-电子工程专辑

8、安徽易芯半导体有限公司

易芯半导体通过多年的自主研发,成功开发出我国第一台12吋半导体级单晶硅晶体生长炉与全自动控制系统,掌握了国际领先的大直径单晶硅棒生长技术与硅片产业化经验。sDYEETC-电子工程专辑

2015年12月,易芯半导体自主研发的12吋芯片级单晶硅片通过了国家有色金属及电子材料分析测试中心的检测,送样产品核心参数均通过测试,相关指标达到国际标准。sDYEETC-电子工程专辑

2017年7月,易芯半导体一期项目实现八条12吋单晶硅棒生产线的批量生产,年生产12吋单晶硅棒170吨(成品)。sDYEETC-电子工程专辑

尽管易芯半导体掌握了大直径单晶硅棒生长技术,但目前还没有形成切磨抛的能力,公司正在积极筹措资金以布局切磨抛产能。sDYEETC-电子工程专辑

9、西安奕斯伟硅片技术有限公司

2017年12月9日,奕斯伟硅产业基地项目签约。西安高新区与北京芯动能公司、北京奕斯伟公司三方共同签署了硅产业基地项目投资合作意向书。根据意向书,该项目总投资110亿元,预期达产后将形成月产50万片12吋硅片的产能;最终目标成为月产能100万片。sDYEETC-电子工程专辑

2018年2月9日,项目承担单位西安奕斯伟硅片技术有限公司成立,是西安奕斯伟材料技术有限公司全资子公司,而西安奕斯伟材料技术有限公司是北京奕斯伟科技有限公司的全资子公司。sDYEETC-电子工程专辑

2018年7月7日参加“西安2018年第二批扩大有效投资重大项目集中开工仪式”。sDYEETC-电子工程专辑

2019年1月17日,1号生产厂房、2号拉晶厂房顺利封顶;7月15日项目用110KV变电站投运,设备将开始联机调试,标志着项目进入投产倒计时。 sDYEETC-电子工程专辑

10、四川经略长丰半导体有限公司

2018年3月22日,四川经略长丰半导体有限公司8/12吋硅片项目开工。项目分两期建设,其中一期工程计划于一年内完工。达产后,形成月产10万片8吋和月产40万片12吋硅片的生产能力。sDYEETC-电子工程专辑

根据《四川经略长丰半导体有限公司集成电路用8/12吋硅片产品项目环境影响评价第一次公示》信息表明,项目总投资50亿元,投资方是深圳经略长丰投资管理有限公司。sDYEETC-电子工程专辑

2019年3月开始讨论项目用110KV变电站方案设计及预算。 sDYEETC-电子工程专辑

11、广西启世半导体有限公司 

2018年9月12日,广西启世半导体有限公司年产1440万片集成电路用12吋大硅片项目(中马大硅片项目)落户广西钦州。 sDYEETC-电子工程专辑

作为第十五届中国—东盟博览会国内经济合作项目集中签约项目之一,中马大硅片项目落户于中马钦州产业园,总投资30亿美元,主要建设12吋大硅片生产线。项目计划分三期建设,其中一期总投资10亿美元,建设四条生产线,年产480万片12吋大硅片。sDYEETC-电子工程专辑

据查,广西启世半导体有限公司成立于2018年5月29日,董事长是金成默,总经理是CHO KWAN SIK。投资方是深圳启世投资有限公司,成立于2018年8月21日。 sDYEETC-电子工程专辑

注:此项目存在非常大的不确定性。 sDYEETC-电子工程专辑

12、中晶(嘉兴)半导体有限公司

2019年1月19日中晶大硅片项目签约嘉兴科技城,项目总投资110亿元,年产1200万片12吋大硅片。项目分两期建设,其中一期投资60亿元,年产480万片12吋大硅片。sDYEETC-电子工程专辑

据悉 ,2019年2月28日该项目签订土地出让合同,4月12日取得建筑工程施工许可证并进场施工。sDYEETC-电子工程专辑

截至2019年6月底,中晶大硅片项目已建设投资4.3亿元,其中设备投入3.39亿元。 sDYEETC-电子工程专辑

各厂房桩基工程已经完成,预计2019年12月一期土建基本完成,2020年开始进行厂房装修,2020年7月,项目一期厂房竣工投入使用,全部工程预计在2024年6月完成。sDYEETC-电子工程专辑

 2019年7月入列2019年度浙江省第一批特别重大产业项目。 sDYEETC-电子工程专辑

13、江苏睿芯晶半导体科技有限公司投资 

2019年3月项目签约,计划首期总投资约3亿美金,建设12吋半导体硅片月产能10万片。sDYEETC-电子工程专辑

目前没有任何实质进展。 sDYEETC-电子工程专辑

14、天芯硅片制造(湖北)有限公司 

天芯硅片制造(湖北)有限公司成立于2019年1月。 sDYEETC-电子工程专辑

据悉,厂房招标工程于2019年4月完成。 sDYEETC-电子工程专辑

15、中芯环球科技有限公司 

中芯环球于2019年7月成立,目前正在与多地洽谈硅片项目。 sDYEETC-电子工程专辑

该公司和泉芯集成电路制造(济南)有限公司有密切关系。中芯环球的总经理钟雄鹰是泉芯集成的董事长,中芯环球的副总经理曹山是泉芯集成的总经理。 sDYEETC-电子工程专辑

16、济南大硅片项目 

山东省会济南市念念不忘大硅片项目。从2018年至2019年多次组织大硅片项目认证会。 sDYEETC-电子工程专辑

中国电子级多晶硅布局 

电子级多晶硅是集成电路产业上游核心原材料,我国政府雄心勃勃的发展规划以及各大企业对大硅片项目的投资,将驱动电子级硅材料向前发展。2016年国家强基工程还支持了洛阳中硅高科技有限公司和江苏鑫华半导体材料有限公司发展电子级多晶硅,引导行业提升整体竞争能力。 sDYEETC-电子工程专辑

目前国内从事电子级多晶硅材料研发生产的企业主要有青海黄河上游电子级多晶水电开发有限公司新能源公司(黄河新能源)、云南冶金云芯硅材股份有限公司(云冶芯材)、江苏鑫华半导体材料科技有限公司(鑫华半导体)、洛阳中硅高新科技有限公司(洛阳中硅)、宜昌南玻硅材料有限公司(宜昌南玻),而新疆大全新能源股份有限公司(新疆大全)、新特能源股份有限公司(新特能源)等也在布局电子级多晶硅生产线。 sDYEETC-电子工程专辑

目前黄河新能源、鑫华半导体、云冶芯材、洛阳中硅、宜昌南玻五家企业都发布了电子级多晶硅产品。目前国内尚未量产12吋集成电路硅片,12吋硅片用电子级多晶硅完全由国外垄断,8吋及以下半导体硅片用电子级多晶硅已实现国产化。sDYEETC-电子工程专辑

FAB2019072403.JPG sDYEETC-电子工程专辑

1、青海黄河上游电子级多晶水电开发有限公司新能源公司

青海黄河上游电子级多晶水电开发有限公司新能源公司(黄河新能源)成立于2006年,同年开始多晶硅的研发工作,于2010年投产,形成年产2500吨高纯电子级多晶硅产能。自2014年开始,连续4年销售量超过百吨,国内市场占有率达到11%。sDYEETC-电子工程专辑

黄河水电多晶硅采用改良西门子法,实现完全闭路循环,节能低耗、安全环保,其氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主杂质<0.03ppba,施主杂质<0.05ppba,基体总金属杂质<2ppbw。sDYEETC-电子工程专辑

黄河新能源经过近十年的努力,建成了国内第一条电子级多晶硅生产线,生产出符合集成电路应用的高纯电子级多晶硅,并率先在国内建立了一套完整的满足SEMI标准的电子级多晶硅产品检测标准、指标体系和检测质量控制流程,拥有目前国内唯一按照国际半导体材料与设备协会(SEMI)标准配置的多晶硅检测实验室。 sDYEETC-电子工程专辑

黄河公司在不断推动产品升级的同时,还利用国内首套完整的冷氢化技术,实现了产线中副产物的循环利用,冷氢化四氯化硅转化率达到国内最高水平,还原炉回收尾气经处理后达到电子级多晶硅生产要求,实现完全闭路循环和环保降耗。 sDYEETC-电子工程专辑

据悉,黄河新能源电子级多晶硅通过了北京有研半导体材料有限公司、西安华晶电子技术股份有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司产品验证,一致认为产品质量可以满足集成电路需求。 sDYEETC-电子工程专辑

2013年度和2014年度均通过浙江金瑞泓科技股份有限公司的关键供方考察审核,获得该公司供应商资格,于2014年6月与浙江金瑞泓科技股份有限公司签订《电子级多晶硅产品长期合作框架协议》,并共同参与6吋、8吋、12吋硅片的论证实验。 sDYEETC-电子工程专辑

2、江苏鑫华半导体材料科技有限公司 

2015年12月11日,江苏鑫华半导体材料科技有限公司成立,由国家集成电路产业投资基金联手保利协鑫共同投资成立。 sDYEETC-电子工程专辑

公司采用改良西门子法循环利用氯硅烷工艺生产的多晶硅产品,公司第一条生产线的产能为5000吨,未来规划再上一条5000吨生产线。sDYEETC-电子工程专辑

鑫华半导体依托协鑫11年的多晶硅制造成熟经验,联合海内外千余人研发团队,历经317次电子级多晶硅生产试验,对629项技术、设备优化改进,通过对原料纯化系统的重新设计,实现了原料端彻底祛除和控制杂质。团队通过选用半导体级材料和制造全面洁净设备,系统性解决了杂质释放问题,并且全球首创自动化无接触硅料处理系统。 sDYEETC-电子工程专辑

2017年11月8日,公司正式发布电子级多晶硅产品,目前产品指标经第三方测试远超国标电子一级品指标,试拉晶体效果完美。公司称产品质量满足40nm及以下极大规模集成电路用12吋硅片制造需求。 sDYEETC-电子工程专辑

2018年5月,公司电子级多晶硅出口韩国。2018年11月公司所有设备全面投用,电子级多晶硅质量全面比肩国际先进水平,标志着我国电子级多晶硅成套技术和关键设备均已实现国产化。 sDYEETC-电子工程专辑

3、洛阳中硅高科技有限公司 

公司成立于2003年3月,总部位于洛阳,现有两个生产基地(洛阳洛龙、偃师)和一个国家级重点工程实验室。主要经营高纯多晶硅、气相白炭黑、高纯四氯化硅、高纯硅化合物产品、无水氯化氢等产品,并提供硅化合物技术服务。截止目前公司多晶硅年产能为20000万吨。 sDYEETC-电子工程专辑

中硅高科是拥有自主知识产权的多晶硅生产企业,工艺技术具有能量综合利用、物料闭路循环两大特点,符合大规模、低单耗、高品质、清洁生产的发展方向。使用该工艺生产的多晶硅质量稳定可控,可根据客户要求提供不同等级、不同形态的产品。sDYEETC-电子工程专辑

中硅高科正以用于电子芯片生产的区熔级多晶硅为突破口,打造国内区熔级多晶硅生产线,向价值链更高端跃升。 sDYEETC-电子工程专辑

4、云南冶金云芯硅材股份有限公司

云南冶金云芯硅材股份有限公司的前身是成立于2000年的昆明冶研新材料股份有限公司(昆明冶研),系1953年成立的昆明冶金研究院分离改制而来的一家高新技术公司,2012年7月26日,公司将注册地由昆明搬迁至曲靖,2017年6月更名。 sDYEETC-电子工程专辑

实际上,早在2006年,云南冶金集团将电子级多晶硅产业化项目作为战略性新兴板块置入云冶新材(原昆明冶研)具体实施。sDYEETC-电子工程专辑

2013年6月总投资36亿元的以电子级多晶硅为目标的3000吨/年多晶硅产业化项目建成投产,部分产品达电子级标准。经过试用,可满足“半导体器件使用要求”,2014年实现电子级多晶硅销售。2015年开始进行冷氢化技改,2016年9月达产,产能达6000吨/年。sDYEETC-电子工程专辑

2015年10月成功实现质量满足GB/T 12963-2014《电子级多晶硅》电子1级产品的批量稳定生产,至今已经产出电子级多晶硅1000多吨。 sDYEETC-电子工程专辑

5、宜昌南玻硅材料有限公司

宜昌南玻硅材料有限公司于2006年8月成立,隶属于中国南玻集团太阳能事业部,是一家专业从事高纯多晶硅、高效硅片、纳米白炭黑、石英坩埚生产的大型制造企业。 sDYEETC-电子工程专辑

公司目前已经形成了年产12000吨高纯多晶硅(其中电子级多晶硅2500吨/年、太阳能级多晶硅9500吨/年)、2.2GW高效硅片以及综合利用多晶硅尾气残液年产3400吨纳米白炭黑的生产能力。 sDYEETC-电子工程专辑

宜昌南玻多晶硅采用改良西门子法,增加还原尾气干法回收系统、四氯化硅氢化工艺,实现了全闭路循环。该方法降低了单位产品的能耗,采用四氯化硅氢化和尾气干法回收工艺,降低了原辅材料的消耗,保护了资源。 sDYEETC-电子工程专辑

公司多晶硅质量居行业先进水平,并积极储备电子级多晶硅生产工艺技术。据悉,公司目前电子级多晶硅产量在800到850吨,内在质量达到国标电子三级以上,全部用于光伏产品,少量优质产品经深度腐蚀后送下游半导体厂家试用。 sDYEETC-电子工程专辑

目前电子级多晶硅还没有形成量产。为具备批量供货能力,公司正在筹建半导体级专用产线,视市场情况推进产线升级。 sDYEETC-电子工程专辑

6、新疆大全新能源股份有限公司

新疆大全新能源股份有限公司专注高纯度多晶硅专业生产。公司从国外引进世界领先的设备和生产工艺,通过消化吸收、技术创新实现全自动、全循环的闭环式运行制造高纯多晶硅。生产过程物料利用率高、能耗低、绿色环保,各项技术指标达到国际先进水平。 sDYEETC-电子工程专辑

公司生产的高纯度多晶硅主要用于太阳能光伏,年产能为1.8万吨。 sDYEETC-电子工程专辑

为抢抓国家关键核心产业布局,公司积极储备电子级多晶硅技术。2017年10月20日,公司年产13000吨多晶硅项目B阶段开工建设,包括建设年产2500吨的电子级多晶硅产能。整体工程已经于2018年12月开始投产,相关电子级多晶硅情况还不明朗。 sDYEETC-电子工程专辑

7、新特能源股份有限公司 

新特能源股份有限公司是特变电工控股子公司,是专业从事光伏新能源产品研制及技术研发的高新技术企业,在多晶硅产品制造领域,公司具备3万吨生产能力。 sDYEETC-电子工程专辑

新特能源研发出大规模电子级多晶硅生产的系列化配套工艺技术体系,从而实现电子级多晶硅国产化。 sDYEETC-电子工程专辑

为了把握行业发展机遇,2018年公司开始实施年产3.6万吨高纯多晶硅产业升级项目的建设,项目生产的多晶硅产品品质将全部达到电子级二级及以上,服务于高品质的单、多晶硅片用料市场,于2019年上半年项目建成投产,其中包括年产1500吨的电子级多晶硅生产线。sDYEETC-电子工程专辑

文章来源:芯思想sDYEETC-电子工程专辑
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