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中芯国际:韩媒发布涉EUV不实报道

时间:2019-12-10 作者:网络整理 阅读:
日前有韩国媒体报道,中芯国际表示与ASML之间已解决光刻机的问题,EUV技术研发步入正轨。中芯国际表示韩媒发布涉EUV不实报道。
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在半导体工艺进入10nm节点之后,制造越来越困难,其中最复杂的一步——光刻需要用到EUV光刻机,而后者目前只有荷兰ASML公司才能供应。中芯国际去年也订购了一台EUV光刻机, 不过前不久有消息称ASML停止对中芯国际供应EUV光刻机,随后ASML公司表示不是停供,而是延期,主要是在准备该国政府的出口申请文本工作。oc9EETC-电子工程专辑

中芯去年花1.2亿美元“抢”到一台

中芯国际是中国大陆最大的半导体制造公司,今年14nm工艺已经实现客户风险量产,追平台联电14nm工艺,预计在今年底贡献有意义的营收,明年年底实现大量出货。oc9EETC-电子工程专辑

目前台积电买下了ASML今年的30台EUV光刻机中的18台,不过量产的7nm工艺仍是基于DUV(深紫外)工艺,今年3月份才启动7nm EUV的量产。而三星在去年就小规模投产了7nm EUV。oc9EETC-电子工程专辑

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从中芯国际近2年晶圆收入构成来看,7nm和EUV还是太早。中芯国际目前主要的营收来自于90nm及以上工艺,2018年45/40/28nm先进工艺合计营收占比只有14%。oc9EETC-电子工程专辑

2018年以前,所有65nm以下先进工艺都是依赖193nm DUV设备制造的,台积电正是用这套设备率先实现了7nm量产,所以买EUV光刻机对中芯国际的意义更多在为未来产线升级提前布局,而不是必须依赖它来上7nm。oc9EETC-电子工程专辑

去年5月,中芯国际向荷兰ASML订购了首台EUV光刻机,价值1.2亿美元,几乎相当于该司2017年全部净利润。光刻机原计划于2019年年初交付。oc9EETC-电子工程专辑

而在去年12月,临近交货时间,ASML突发大火。根据官网信息,火灾摧毁元件供应商Prodrive工厂的部分库存、生产线,因此,2019年年初供货情况预计将会递延。oc9EETC-电子工程专辑

2019年已经临近尾声,EUV仍未交付至中芯,并再次面临“延迟通知”的风险。ASML方面将此归因于出口许可证到期。oc9EETC-电子工程专辑

不过,业内人士透露,这批设备仍预计最快在 2020 年初前出货,并且在 2020 年底前完成装机。oc9EETC-电子工程专辑

日前有韩国媒体报道,中芯国际表示与ASML之间已解决光刻机的问题,EUV技术研发步入正轨。oc9EETC-电子工程专辑

中芯国际官方声明:

近日,《BusinessKorea》等韩国媒体发布报道,“引用”中芯国际董事长周子学博士在韩国参会时对EUV(极紫外光刻机)事宜的表态。中芯国际对此郑重声明,此类报道违背事实,纯属捏造。周董事长仅参加了本月“中韩工商领袖和前高官对话”内部会议环节,期间并未接受任何媒体采访,在发言中也从未提及EUV事宜。oc9EETC-电子工程专辑

对于杜撰及传播谣言的媒体和个人,公司表示强烈谴责,将保留诉诸法律追责的权利。oc9EETC-电子工程专辑
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特此声明。oc9EETC-电子工程专辑

责编:Yvonne Gengoc9EETC-电子工程专辑

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