广告

KLA推电子束缺陷检测系统,提高EUV工艺良品率

时间:2020-07-21 阅读:
KLA公司宣布推出eSL10™电子束图案化晶圆缺陷检查系统。该系统具有独特的检测能力,能够检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的缺陷,从而加速了高性能逻辑和存储芯片的上市时间(包括那些依赖于极端紫外线(EUV)光刻技术的芯片)。
广告

2020年7月20日,KLA公司宣布推出eSL10™电子束图案化晶圆缺陷检查系统。该系统具有独特的检测能力,能够检测出常规光学或其他电子束检测平台无法捕获的缺陷,从而加速了高性能逻辑和存储芯片的上市时间(包括那些依赖于极端紫外线(EUV)光刻技术的芯片)。AfwEETC-电子工程专辑

KLA方面称,eSL10的研发是始于最基本的构架,针对研发生产存在多年的问题而开发出了多项突破性技术,可提供高分辨率,高速检测功能,这是市场上任何其他电子束系统都难以比拟的。AfwEETC-电子工程专辑

KLA电子束部门总经理Amir Azordegan表示:“利用单一的高能量电子束,eSL10系统将电子束检测性能提升到了一个新水平。在此之前,电子束检测系统不能兼顾灵敏度和产能,严重限制了实际的应用。我们优秀的研发工程团队采用了全新的方法来设计电子束架构以及算法,研制出的新系统可以解决现有设备无法解决的问题。目前,KLA将电子束检测列入对制造尖端产品至关重要的设备清单。”AfwEETC-电子工程专辑

AfwEETC-电子工程专辑

图:针对先进的逻辑、DRAM和3D NAND器件,KLA革命性的eSL10™电子束图案化晶圆缺陷检测系统利用独特的技术发现甄别产品中的关键缺陷。AfwEETC-电子工程专辑

eSL10电子束检测系统具有多项革命性技术,能够弥补对关键缺陷检测能力的差距。独特的电子光学设计提供了在业界相对比较广泛的操作运行范围,能够捕获各种不同工艺层和器件类型中的缺陷。Yellowstone™扫描模式每次可以扫描收集100亿像素的信息,支持高速运行的同时不会影响分辨率,以在较大区域内也能高效地研究潜在弱点,实现缺陷发现。Simul-6™传感器技术可以通过一次扫描同时收集表面、形貌、材料对比度和深沟槽信息,从而减少了在具有挑战性的器件结构和材料中识别不同缺陷类型所需的时间。凭借其先进的人工智能(AI)系统,eSL10运用了深度学习算法,能满足IC制造商不断发展的检测要求,杜绝了对器件性能影响最关键的缺陷。AfwEETC-电子工程专辑

三维器件结构,例如用于内存应用的3D NAND和DRAM,以及用于逻辑器件的FinFET和GAA(Gate-All-Around)结构,都要求晶圆厂重新考虑传统的缺陷控制策略。eSL10与KLA的旗舰39xx(“ Gen5”)和29xx(“ Gen4”)宽光谱晶圆缺陷检测系统的结合,为先进IC技术提供缺陷发现和监测解决方案。这些系统共同合作,提高了产品的良率和可靠性,将更快地发现关键缺陷,并能够更快地解决从研发到生产的缺陷问题。AfwEETC-电子工程专辑

KLA表示,新推出的eSL10系统平台具有独特的扩展性,可以延申到整个电子束检测和量测应用中。全球范围内先进的逻辑器件、存储器和工艺设备制造商都在使用eSL10系统,利用该系统帮助研发生产过程,提升和监测下一代产品制工艺和器件的制造。为了保持其高性能和生产力表现,eSL10系统拥有KLA全球综合服务网络的支持。AfwEETC-电子工程专辑

责编:Luffy LiuAfwEETC-电子工程专辑

本文为EET电子工程专辑 原创文章,禁止转载。请尊重知识产权,违者本司保留追究责任的权利。
  • 汇聚新能源汽车半导体技术和产业专家的“中国国际汽车 本次高峰论坛邀请了来自特斯拉、博世汽车电子和蔚来等汽车厂商及Tier 1零部件供应商;恩智浦、安森美、高通、Isabellenhuette和Power Integrations等国际汽车半导体厂商;以及豪威集团、地平线和安世半导体等国内汽车半导体厂商的技术和应用专家,与500多位汽车电子行业人士共同探讨新能源汽车的发展趋势,以及汽车电子的设计、供应链、测试及质量控制等热门话题。
  • 汽车电子技术论坛热点分享:网关进化、牵引逆变器在变、 如果技术足够先进,有超过一半的人是不愿意自己开车的。有种叫做robocab的概念,可以指代“没有司机的网约车”——实际上也就是共享出行,有可能是自动驾驶汽车的分时租赁,流行的说法叫Mobility-as-a-Service。在这种模式下的未来社会里,人们是不需要自己购买汽车的……
  • 数十亿台5G设备将面世,如何有效降低5G测试成本? 据估计,未来几年将有数十亿台5G设备面世,5G设备制造商需要在克服成本限制的同时交付高质量的产品。本文提供五种策略可以帮助OEM应对5G 设备面临的这些新挑战并降低测试成本。
  • 教你一招无损检测同轴电缆的屏蔽质量 测试大多数产品的辐射发射,通常需要将所有的I/O和电源线连接到被测设备,并按照特定的产品标准铺开。通常,测试工程师只是想抓住最近的电缆,而在一致性测试中获得最好结果。不幸的是,劣质电缆可能会由于屏蔽效果不好或连接器所连屏蔽端子不佳而导致发射故障。
  • 降低5G测试成本的五种方法 据估计,未来几年将有数十亿台5G设备面世,5G设备制造商需要在克服成本限制的同时交付高质量的产品。本文提供五种策略可以帮助OEM应对5G 设备面临的这些新挑战并降低测试成本。
  • 使用电源轨道探头评估电压纹波和噪声 在使用普通10X, 10 MΩ无源探头时,即使是短连接引线,仍有大的电感谐振和振铃假信号,这会误导设计人员。在使用AC耦合时,低频带宽也严重受限。这些情况外加测量的电压轨道远超示波器提供补偿DC偏置电压的能力,要求必须使用新型电源轨道探头。
广告
热门推荐
广告
广告
广告
EE直播间
在线研讨会
广告
广告
面包芯语
广告
向右滑动:上一篇 向左滑动:下一篇 我知道了