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中国首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

时间:2021-07-02 09:07:48 作者:国家智能传感器创新中心 阅读:
6月30日,由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。所谓的“中试”,也就是中间阶段的试验,在科技成果转化为生产力的过程中,中试环节是少不了的……
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2019年,全球传感器市场规模达2265亿美元。然而,目前国内传感器的供应上仍然依赖进口,尤其在中高端传感器领域,对外依赖度达到80%。加速先进传感器产业的国产化刻不容缓。

6月30日,由国家智能传感器创新中心(简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。所谓的“中试”,也就是中间阶段的试验,在科技成果转化为生产力的过程中,中试环节是少不了的。

该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控。

面向新兴技术发展和市场应用需求,创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件和新集成等关键共性技术,重点突破光学、声学、力学、生物等先进传感器的核心工艺,并推动相关产品及应用的产业化。

12英寸中试线位于上海智能传感器产业园内,产业园以智能传感器为核心,以创新平台和龙头企业为支撑,伴有精准的政策助力,发展传感器特色工艺,积极培育和引进领先的智能传感器产业链领军企业,促进产业集聚和协同发展,力争将上海嘉定打造成国内传感器领域产业高地。

为什么要中试呢?相关统计数据显示,在科技成果产业化的过程中,如果没有中间阶段的试验,它的产业化成功率只有30%,通过中试后,这一数据就提高到80%。所以,中试的好处是显而易见的,如果这一步成功后,就基本可以“官宣”量产了。

全球范围内的中高端传感器领域,先进技术主要掌握在欧美日韩等发达国家手中,例如索尼、三星、博世、德州仪器等都是传感器行业的领军企业。虽然近年中国传感器市场规模年均增长率超过10%,发展相当迅速,2019年市场规模已达2188.8亿元。不过国产化率仍然不高,并且由于起步较晚,目前国产传感器还是以低端为主。

国家智能传感器创新中心致力于先进传感器技术创新,以关键共性技术的研发和中试为目标,联合中国传感器与物联网产业联盟1000+ 家产业链各领域的代表企业开展共性技术研发,形成“产、学、研、用”协同创新机制,加速我国先进传感器及其相关应用的核心技术发展,推动智能传感、物联网、人工智能的生态体系建设。

责编:Luffy Liu

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