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SK海力士欲在其中国芯片厂引入EUV光刻机,遭美国制止

时间:2021-11-23 作者:综合报道 阅读:
美国贸易代表戴琪(Katherine Tai)在韩国CBS电视台一文件广播节目中,就SK海力士拟在中国引进尖端设备遭到美方反对一事表示,美方出于若将尖端设备引入中国恐将给国家安全带来隐患的合理理由,而反对有关公司在中国引进相关设备。这里的相关设备,就是EUV光刻机……
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为了防止中国获得最先进的极紫外光(EUV)光刻机,美国可谓无所不用其极,不少在中国设厂的外国芯片公司也收到波及。据路透社报道,知情人士透露,韩国半导体公司SK海力士本规划要对旗下一中国大型工厂进行改造,但因为中美科技战,美国官员不希望让更多先进半导体设备进入中国。

SK海力士为全球第二大动态随机存取内存(DRAM)内存芯片大厂,从智能手机到数据中心的各个领域都有使用这种芯片。该公司原希望通过中国工厂的改造计划来提升其内存芯片的生产效率。

路透社报道,3位知情人士表示,SK海力士的生产计划要求公司以荷兰阿斯麦(ASML)的最新EUV光刻机来为其在中国无锡工厂的一个芯片量产设施进行升级。

ASML的光刻机对最先进半导体的制造来说是不可或缺的设备。中国政府对此曾向荷兰交涉,要求对方出售给中国。对此,美国在前总统特朗普时期便开始向荷兰施压,因美国认为这些先进设备运至中国后可能被用于强化该国的军事力量。

《华尔街日报》7月报道,2019年时任副国家安全顾问库珀曼(Charles Kupperman)曾邀请荷兰驻美大使至白宫,并对他说:“好的盟友不会向中国出售这种类型的设备。”他并告诉荷兰大使,如果没有美国的部件,ASML的机器就无法运作,而白宫有权向荷兰限制这些部件的出口。

拜登政府则延续了这项政策。在拜登就职后不到一个月,其国家安全顾问沙利文(Jake Sullivan)就美荷两国的“先进技术合作”与荷兰的同行进行了交谈。《华尔街日报》报道,美国官员说,继续限制ASML与中国的业务是沙利文待办事项的首要任务之一。

路透社报道,一位白宫高级官员拒绝评论美方官员是否会允许SK海力士将EUV光刻机带进中国。但这位官员告诉路透,拜登政府仍然专注于防止中国利用美国和盟国的技术来发展最先进的半导体制造,避免协助中国军事发展。

不用EUV,可能会被竞争对手拉开距离

SK海力士位于无锡的工厂对全球电子行业至关重要,因它生产了该公司约半数的内存芯片,占全球总量的15%,任何重大变化都可能对全球内存市场产生影响。据调研机构IDC称,光是2021年,全球内存市场的需求就将增长19%。

2021年三季度,SK海力士占据全球DRAM市场27.2%的市场份额数据来源:TrendForce咨询

路透社引述一位了解SK海力士在中国运营情况的消息人士称,随着2到3年后新型芯片在SK海力士的生产中占据更大份额,该公司势必要透过EUV光刻机来控制其成本、进一步加速生产。

今年7月,SK海力士宣布,已开始在韩国使用EUV光刻机量产基于1a纳米级工艺的8G LPDDR4移动DRAM芯片,与第三代1znm内存芯片相比,1a技术在相同的晶圆面积下,生产的芯片数量可以增加25%。

SK海力士担心,如果这种情况在未来几年内得不到解决,SK海力士可能会在与其他主要竞争者三星和美国美光半导体(Micron)等对手的竞争中处于不利地位。三星和美光也都在转向使用ASML的EUV光刻机来生产存储芯片。

据两位知情人士称,ASML EUV光刻机的问题在SK海力士内部引起了足够的关注,SK海力士会长李锡熙(Lee Seok-hee)7月访问华盛顿特区时,也曾向美国官员提出了这个问题。但就光刻机导入无锡工厂一事,SK海力士不予置评。

就在同一天,ASML首席财务官罗杰·达森(Roger Dassen)表示,该公司预计其产品在中国的需求依然强劲,2021年销售额将达到约20亿欧元(约合人民币144亿元)。他同时称,如果美国进一步限制该公司对华出售光刻机,这些需求可能会转移到其他地区。

阿斯麦2021年三季度财报截图

ASML一位发言人也称,该公司遵守所有的出口管制法律,将其视为政府确保国家安全的“有效工具”。但该公司也表示,过度使用这些控制措施“可能会影响到为保持领先于半导体需求增长所需的产能”。

对此,半导体产业研究公司VLSI Research首席执行官赫奇森(Dan Hutcheson)说:“他们(SK海力士)真的被夹在了中国和美国中间。”他补充说,限制ASML的EUV光刻机输入中国的规则可能适用于任何位于中国的芯片制造工厂,无论那工厂是外资还是中资。

“不管谁把EUV光刻机引入中国,都会让中国具备这项能力,”赫奇森说,“一旦它到了那里,你不知道它之后会去哪里。中国人总是可以占有它或者做他们想做的任何事。”

但阿斯麦CEO温彼得有不同看法,今年4月他访华时坦言,出口管制只会加快中国自主研发的速度。“如果你采取出口管制措施将中国市场拒之门外,这将迫使他们争取技术主权(tech sovereignty),就其真正的技术主权而言……在15年的时间里,他们自己将能够做出所有的这些东西,而且他们的市场(针对欧洲供应商的市场)将彻底消失。”

美国贸易代表:知道韩方难处

韩联社11月22日报道,美国贸易代表戴琪(Katherine Tai)在韩国CBS电视台一文件广播节目中,就SK海力士拟在中国引进尖端设备遭到美方反对一事表示,美方出于若将尖端设备引入中国恐将给国家安全带来隐患的合理理由,而反对有关公司在中国引进相关设备。

被问及美方是否会以安全为由将限制中国企业引进技术和装备的措施扩大至半导体以外的其他领域时,戴琪回答说,国家安全虽与军事和国防有关,但其涉及的范围可能会更广。

对于韩方夹在中美之间立场尴尬的观点,戴琪称,知晓韩方困难,也在此次访韩过程中了解到了有关情况,“但我们都生活在经济一体化时代,需要携手解决挑战课题。”

三星电子也在中国有存储器工厂,位于陜西省西安市,但由于是生产NAND芯片的专用工厂,目前为止并不需要EUV设备。这是因为,在NAND领域,企业围绕使存储组件纵向迭加的“三维技术”展开竞争,即使没有将半导体电路线宽缩小至极限的“微细化”所需的EUV设备,也能够量产尖端产品。

责编:Luffy Liu

本文内容参考路透社、华尔街日报、德国之声、韩联社、香港01报道

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