今年的ASML媒体开放日,我们有机会穿着防护服,参观了位于上海的ASML全球培训中心,看到了两台光刻机实体,知道了哪儿是双晶圆平台、大型的镜头从外面看长什么样、掩模版长什么样,光刻机运作起来又是怎样一幅景象......虽说很遗憾无法藉由镜头记录这一幕,这也让我们感受到ASML一直在释放积极和开放的信号。

今年7月,ASML发布2022 Q2季报:季度营收54.31亿欧元,同比增幅达到了35.1%。这个数字其实并不让人意外,更让人惊叹的是这一季ASML的订单(net bookings)金额达到了84.61亿欧元;目前ASML未交付的总订单量达到330亿欧元。

前两个月我们报道过目前光刻机的市场供需不平衡现状。总的来说,这几年全球范围内光刻机都将处在短缺状态。

这和此前影响范围极大的缺芯潮有很大的关系。即便目前半导体及电子产业市场出现结构性的调整,由于半导体供应链很长,像ASML这种上游设备供应商对此感知相对迟缓。在最近的ASML媒体开放日上,ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波说:“相比产业链里其他供应商,半导体设备的一个特点是供货周期相对偏长。需求往下走的时候,我们差不多是最后一个感受到;需求往上走,我们则是第一个感受到。”

不过即便当前包括消费电子在内的部分市场行情呈现波动趋势,沈波提到:“社会数字化转型的大趋势在那儿,即便现在行业面临周期性变化、有一些结构性调整,总体大趋势大家仍然是比较认可的。”关注半导体市场的同仁对这些资讯应当已经不陌生了。

值得一提的一件事情是,去年ASML媒体开放日,ASML通过AR的方式展示了自家的光刻机技术,还跟我们谈了DUV浸润式光刻相关技术。

今年的ASML媒体开放日,我们更是有机会穿着防护服,参观了位于上海的ASML全球培训中心,看到了两台光刻机实体,知道了哪儿是双晶圆平台、大型的镜头从外面看长什么样、掩模版长什么样,光刻机运作起来又是怎样一幅景象......虽说很遗憾无法藉由镜头记录这一幕,这也让我们感受到ASML一直在释放积极和开放的信号。

ASML在中国究竟在做什么

在国际贸易市场摩擦和地缘政治变迁的大趋势下,半导体行业当属其中的风口浪尖。这似乎也让ASML,作为原本行业上游典型的“隐形巨擘”之一,在短期内于国内被更多人所知,但是这两年国内普罗大众对于ASML的认知,除了“光刻机”这个略带抽象的名词之外,就知之甚少了。

ASML的首台光刻机进入中国可以追溯到1988年;2000年ASML中国就正式成立了。后续一些相关中国比较有关注价值的时间节点包括2004年首台ASML TWINSCAN干式光刻机进入中国;2007年睿初深圳计算光刻软件研发中心并入到ASML,同一年知名的浸润式光刻机进入中国;2015年,汉民微测北京电子束监测系统研发中心并入ASML;

2018年ASML在上海建立ASML中国全球培训中心;以及2021年在北京建立ASML中国本地维修中心。当前ASML在中国的布局如上图所示。ASML在中国的开发中心,包括在深圳和武汉的计算光刻团队,以及在北京做电子束检测设备的团队;位于上海的全球培训中心,就是我们近距离参观光刻机的地方——沈波说这里“培训了很多人,不只是我们自己的工程师,还有客户、行业合作伙伴”。

位于北京的本地维修中心,开始向中国客户交付零部件,逐步帮助客户缩短维修周期并提高成本效益;还有15个办公室,“绝大部分是服务中心,我们的客户在哪儿,我们就会在附近成立一个服务中心,工程师7X24小时待命”;11个仓库,是在主要客户附近,会建仓库,存放备品备件。如果有问题,就能尽快让客户恢复生产。“沈波介绍道。

目前在中国ASML以的全方位光刻解决方案下的累计装机量已超过1000台。近些年ASML在中国的营收还在稳步增长。

从季报数据来看,ASML今年上半年在中国大陆的净销售额是15.138亿欧元,相比去年同期增长了18.6%。基于当季财报数据,中国大陆也是仅次于中国台湾和韩国的ASML出货量第三大的市场。这一点应该是很多人都不知道的。

“我们对中国半导体行业的发展一直都是非常支持的。”沈波说,“我可以很自信地和大家分享,几乎所有的客户都会认为,我们是家与客户紧密合作的公司。”“从设备供应、后续服务,到帮助客户提升产能、工艺优化,我们都投入了非常多的精力。”

“公司继续支持中国市场的想法是非常坚定的。我们CEO最近这两年在很多场合都反复说过,中国对全球半导体产业而言是很重要的组成部分。我们自身并不希望看到半导体的生态系统、产业链因为一些人为因素造成撕裂、破坏。”沈波表示,“对中国市场的投入和支持,公司上下都有共识,大方向不会变。”

沈波和ASML中国区人力资源总监王洪瑞还反复强调了ASML对于人才的渴求,王洪瑞说2017年时国内大概500多名员工,现在已经发展到1500多人。现在ASML也面临行业大趋势相同的问题,即人才短缺。毕竟光刻技术要求的跨学科人才很紧俏。且据说新入职到ASML的工程师,无论此前工作经验多少,在入职以后都需要经过长达48周的理论和实践培训——而要独当一面,则需要一年到一年半的时间。

所以从人才需求、企业布局、营收构成等不同角度,都能够看出中国市场对ASML的重要性。

不只是设备供应商

ASML的光刻解决方案有个“铁三角”,分别是光刻机、计算光刻、光学和电子束量测。计算光刻是通过软件对整个光刻过程做建模和仿真,对工艺流程做优化;光学和电子束量测业务则是“用光学手段或电子束手段,对芯片做计量和检测。一是检测芯片缺陷,二是计量曝光后的成像效果,比如说统一性是否足够好,关键尺寸是否一致。“数据反馈给光刻机,光刻机要做调整”。

除此之外,ASML旗下的光源公司Cymer在中国也为客户提供用于DUV光刻机的ArF和KrF光源产品组合。

技术方面ASML最擅长的4个方向,我们在去年的报道文章里已经详细提到过。这次沈波告诉我们,深圳和武汉团队做计算光刻软件研发,是“全球研发体系里头的一环,会和全球其他地区的团队进行项目的共同开发”;而北京的电子束检测研发中心,“在我们整个电子束检测产品线里面也扮演非常重要的角色。”

从芯片制造到封装全流程这样一个系统的层面来看,曝光毕竟只是其中一个步骤。沈波说做一颗芯片工艺流程1000多道工序,每道工序的误差控制要求都很高。“光刻作为一个中间环节,它有点承上启下。我们希望把工艺窗口做得大一点,把误差控制小一些,留些余量给其他工序,让工艺流程走得更顺一些。”

ASML的铁三角,包括计算光刻与量测检验都基于此展开。实际从这样的“铁三角”技术分布来看,ASML的确并不单纯是设备供应商。比如计算光刻主要是软件技术,其中包括诸如照明形貌优化、掩模版修正等。

不过从沈波的介绍来看,ASML要做的不止于此。沈波多次谈到ASML并“不是一个简单的设备供应商”。在设备以外,后续服务、工艺优化都是相关组成部分。前文谈到7X24小时为客户提供维修服务是其中的一部分。据说在武汉疫情最初爆发之际,ASML仍在尝试排除万难将备品配件运往武汉;今年上海的2个月封控期内,“我们的工程师从疫情爆发之前进到客户工厂,后续跟客户吃住在一起,最长的呆了70多天没有回家。”

除此之外,对客户使用光刻机设备来说,“不光是用,还在于怎么把它用好。”其中比较重要的组成部分应当就是与客户的协作,和对工艺的优化了。“我们会针对客户的制程跨越需求,配合他们做很多工作——我们叫NTP,节点转换项目。我们 (本地团队和工厂专家团队)和客户紧密合作新品研发,通过提供解决方案缩短客户的研发到量产的周期,包括机器可能需要不同的配置,以及根据产品特点做工艺流程调整,还有在转化过程里头对整个产线布局做优化,包括产能分配、产品组合这些方面,我们会给客户很多建议、帮客户做优化。”

“让全厂效率做到更高、或者工艺良率做到更好、成本也能降下来。这并不是简单地提供一台机器就可以实现的。”沈波说,“这需要大量的协作。”

协作与“开放式创新”

协作(collaborate)实际上是ASML的“3C”企业文化中其中之一:ASML将其译作“合作共进”。3C的另外两个是 challenge(挑战求精)、care(关爱致远)。3C之间是相互作用的关系,合作共进贯穿了另外两者。

“挑战求精”本身是在内部、外部协作过程中达成的;而“关爱致远”,王洪瑞提到:“不仅是对内部员工的关爱,也是对产业链上的合作伙伴,还有我们的社区。”这些实则都体现出了“合作共进”。

“合作共进,讲的不仅是内部团队之间,也强调我们和产业链上下游的合作,包括和供应商、客户。”王洪瑞说,。一台光刻机的研发历经很多年,这个过程当然有我们自己的贡献,但也有客户的贡献。在研发过程中,大家是深度合作的。比如成品出来之后,到客户那儿,客户用了会有反馈,我们再做持续改进。”

沈波说,ASML能够发展到现在,“或许有两件事是最关键的。一是开放式创新。我们的技术往前推进,是和供应商合作伙伴、研究机构合作伙伴,大家一块研究的,形成了非常开放的生态系统。”毕竟光刻技术跨大量细分学科,如微电子、电气、光学、机械、物理、计算机、数学、材料等。

“大家都有贡献,都参与了进来。我们能够通过这种方式,把方方面面、各行各业、各个方向、各个领域领先的技术吸纳进来。大家共同来做这件事。”的确,“开放式创新”的内核也在于合作共进,而开放和创新都是实现协作的先决条件。

“另一点是专注。公司成立至今,规模也算比较大了。这个过程中我们就只专注这一件事——一直深耕光刻技术领域,把技术一代代往前推进。”

在谈到“3C”文化中的Care(关爱致远)时,王洪瑞也谈到:“我们做任何事情都要考虑产业链的健康关系。我们做长久的生意,这个过程中要强调风险共担、利益共享。这是Care很核心的组成部分。”显然像ASML这样的角色,会从一个系统、产业链的角度来观览市场与未来,而非孤立的设备供应商。这或许本身也是当前半导体供应链发展的特点,若无紧密协作则很难真正发展。

行业与社会责任

沈波说Care“关爱致远”的延申之一,是对行业的关注,对行业发展的关心。“这是整个公司文化中,我个人认为意义特别深远的文化元素。”沈波说。从ASML这家企业的“宗旨”——推动技术突破边界,解锁人类与社会无限潜能;“愿景”——驱动技术创新解决人类生活中各种严峻挑战”;“使命”——携手合作伙伴,以领先的光刻技术推动芯片技术不断向前发展,这几点都能看出沈波反复提到的“行业责任”。

而在社会层面,沈波也谈到了企业承担的社会责任与对社会的回馈。比如ASML“连续6年向上海市科学教育发展基金会捐款,用于举办未来工程师大赛,旨在提高青少年对科学的理解和兴趣,助力中国青少年科技人才的培养,以及包括为贫困家庭女童提供教育、安全与健康方面的资助在内的公益活动。

另外值得一提的是,减碳大趋势下, ASML的可持续发展目标:2025年要实现公司运营的净零排放,92%为可再生能源;2030年实现零废弃物理填埋和焚烧,要实现价值12亿欧元的零部件再利用;2040年则实现全价值链的净零排放。这些都是ASML承担社会责任的体现。

这些都让ASML这家在大部分人印象中的光刻机设备供应商,在形象上显得愈发立体。在光刻这个人类精密制造技术皇冠领域,达成最高精尖技术背后,原本就需要各种推力。

ASML追求的协作,及其对社区和生态共建的倡导给我们留下了相当深刻的印象。据说Peter Wennick每年都会在高层会议上强调“Be humble(谦逊)”。这大概也从市场和技术两方面表明,ASML作为行业共同体中的一员,都与其他参与者有着高度的共生关系。

责编:Luffy
本文为EET电子工程专辑原创文章,禁止转载。请尊重知识产权,违者本司保留追究责任的权利。
阅读全文,请先
您可能感兴趣
在扇出型面板级封装的市场争夺中,半导体OSAT、IDM、晶圆代工厂等来自不同领域的制造商都加入了其中,且斥资巨大。但目前FOPLP的发展因受到良率产量、翘曲及设备投入研发、投资回报率等种种挑战,产业发展进程仍有待提高。
大国弈棋,谁都可能是棋子。在自身未真正强大之前,日本选择一条“中间路线”可能是最符合现实的,即政治部分导向美国,经济和技术部分争取中国市场。
在2022 IEEE国际电子器件会议上,英特尔发布了多项突破性研究成果,以期在未来十年内持续推进摩尔定律,最终实现在单个封装中集成一万亿个晶体管的目标
当下印度发展半导体产业为数不多的有利因素只剩下未来可观的消费市场以及相对优越的政治地缘关系。据印度电子与半导体协会(IESA)与Counterpoint联合编制报告表示,印度半导体市场在2021-2026年间的累计消费量将达到3000亿美元,有望成为全球第二大半导体消费市场。
在IEDM 2022上,Intel发了多篇研究paper,内容包括2D材料、3D封装技术、断电不会丢失状态的晶体管、嵌入式存储等。我们选择其中一部分来谈一谈,这些技术都有望在近未来,在芯片上发光发热;而对这些技术的了解也有利于我们把握半导体制造技术的未来。
尽管英特尔勾画了晶圆代工美好蓝图,但其仍然要面对台积电、三星稳固的代工地位和技术竞争,特别是其很多业务还跟苹果、AMD等竞争对手高度重合,能否吸引更多终端客户仍存在较大压力。
德州仪器首席执行官Rich Templeton当选SIA副主席
由于采用性能相对强大的M1处理器和mini-LED屏幕以及更多的创新,新款iPad Pro 2021已经成为消费者心目中最受欢迎。然而,iPad 2却已经在全球范围内被列入“复古和过时”的名单中。
- 该扩建项目将助力 Soitec 巴西立(Pasir Ris)工厂实现年产能翻番,300mm SOI(绝缘体上硅)晶圆产能将达到约 200 万片/年。
- 新加坡工厂产能提升是 Soitec 战略增长计划的一部分,可满足全球日益增长的晶圆需求,也是提升法国总部产能的补充举措。
- 该项目扩建面积为 45,000 平方米,并将助力 Soitec 到 2026 年实现新加坡员工总数翻倍,达到逾 600 名员工。
本文介绍了目前比较成熟的已经得到广泛应用的三种信道建模方法并分析了各自的优缺点。坤恒顺维公司可以提供上述三种完整的信道建模软件。优异的信道模型对于准确预测无线电波的传播特性,支持无线通信系统的架构设计极其重要,好的信道建模方法对于用户方便高效的测试验证通信系统的性能更是不言而喻。因此在具体实际应用种,应综合考虑具体环境、条件以及要求有针对性的选择最符合实际测试的方法以提高测试效率。
化学机械抛光(CMP)是实现晶圆全局平坦化的关键工艺。CMP工艺贯穿硅片制造、集成电路制造与封装测试环节。抛光液和抛光垫是CMP工艺的核心耗材,占据CMP材料市场80%以上。 鼎龙股份、华海清科为代表
今天有空,在GitHub翻了各种库,挑出下面有意思的库~Open.HD 使用现成的商业 (COTS) WiFi 适配器,但它不会在标准 WiFi 模式下运行它们,这不适合低延迟或超长距离视频传输。相反
你没看错,张飞实战电子"内部培训视频打包72集",现在限时限量超低价出售。        只要满足以下2个简单的条件,即可0.1元购买       1、对硬件电路设计/开关电源课程有强烈需求     
中国北京 – 2022 年 12 月13 日– 移动应用、基础设施与航空航天、国防应用中 RF 解决方案的领先供应商 Qorvo®, Inc.(纳斯达克代码:QRVO)将在 CES®2023 (#CE
如何看待中国自主汽车品牌冲击中高端市场?背景:11月,比亚迪官宣,旗下高端汽车品牌定名为“仰望”。11月16日,在比亚迪第300万辆新能源汽车下线仪式上,比亚迪集团董事长王传福在表示,明年将推出一款专
尊敬的行业同仁:亚化咨询最新推出《中国SiC月报2022》,主要包含:三代半导体行业评论(月度更新)三代半导体行业政策、市场动向(月度更新)行业重大动向(月度更新)SiC项目建设动态(月度更新)SiC
芯片供应商骗局近期频频爆雷,假货、跑路、维权无门,两眼一抹黑怎么办?【超人投票】告诉你答案,火眼识别靠谱供应商。【超人投票】是芯片超人在2017年推出的,帮助市场上的朋友找到靠谱供应商的决策工具。5年
文|曹江北日前,据德国《汽车》周刊报道,大众汽车旗下的捷克汽车制造商斯柯达汽车公司首席执行官克劳斯·泽尔默在受访时表示,斯柯达正在考虑退出中国市场,将于明年做出最终决定。“那里的竞争非常激烈,所以我们
1983年,100台桑塔纳以CKD(全散装件)的形式抵达上海进行组装,在大众派来的专家指导下,上汽大众建立起汽车组装线,耗时七年完成了桑塔纳的国产化。作为曾经的国民神车,桑塔纳激活了中国的民用汽车市场
 日前,在2022世界工业设计盛会上,代表中国工业设计发展高水平的国家级奖项——中国优秀工业设计奖揭晓,大华股份“PTZ全息智能交通卡口相机及一体化薄膜展示系统”凭借出色的设计风范和高度契合