
前段时间,昭和电工成功产出了8英寸SiC外延片(.点这里.)。最近,国外一家SiC公司也即将在不久后量产8英寸SiC衬底。更为重要的是,这家企业的长晶工艺源自林雪平大学,可将BPD缺陷降2000倍。9月12日,KISAB官网发布消息称,他们已经完成了750万欧元(约合人民币5260万元)融资,资金将用于扩大其无缺陷碳化硅衬底的生产。据了解,本轮融资由Fairpoint Capital领投,Industrifonden、LPE等现有投资者跟投。据Fairpoint Capital投资总监Hadar Cars介绍,“KISAB能够生长无缺陷的SiC衬底,同时也将于不久后量产无缺陷的8英寸SiC衬底。”公开资料显示,KISAB成立于2017年,总部位于瑞典斯德哥尔摩。根据官网,KISAB开发了可生产高质量碳化硅衬底的FSGP-M工艺(快速升华生长工艺)。据称该工艺可最大限度地减少衬底缺陷。据KISAB公司介绍,以往通过PVT法生长的6英寸SiC衬底中,BPD密度大约为2000 cm-2,与之相比,在同样尺寸下,FSGP-M可将BPD密度降至<1cm-2。
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而且相比PVT,FSGP-M还有一个优势——可在低于2000℃的温度下生长。“行家说三代半”发现,FSGP工艺源自林雪平大学,是由Rositza Yakimova教授和Docent Mikael Syväjärvi副教授等人共同开发,他们还利用该工艺生产了用于太阳能电池和石墨烯的立方碳化硅。同时,KISAB还开发了一种CVD工艺,用于生产FSGP-M工艺中使用的源材料,可大幅降低制造高质量碳化硅衬底的成本。插播:更多全球SiC产业布局尽在《2021第三代半导体调研白皮书》,扫码可抢先阅读!

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