无锡松瓷机电有限公司
无锡松瓷机电有限公司系无锡奥特维科技股份有限公司(股票代码:688516)控股子公司,成立于2017年3月16日,注册资本2086.4918万元人民币,是一家专注于半导体及光伏行业晶体生长专用生产设备研发、制造、销售,并提供综合性解决方案的高新技术企业。依托奥特维集团的资源优势与自身多年深耕积淀的研发生产经验,松瓷精准聚焦行业核心需求,推出碳化硅电阻炉、碳化硅电感炉、碳化硅粉料合成炉、IC级半导体单晶炉等技术领先、工艺成熟的核心设备,同时可根据客户需求提供智能车间自动化方案等定制化产品与服务。产品凭借稳定可靠的产品性能,已获得多家国内外知名企业的认可与持续复购。
在研发与生产实力方面,松瓷拥有3万多平米的重型厂房生产基地,配备专业的半导体研发实验室,具备大尺寸导电/半绝缘碳化硅、金刚石、氧化镓及第三、四代半导体材料设备的开发与试验能力,为前沿技术研发与产品迭代升级提供坚实保障。实验室搭载2D/3D、CGSIM、VR等先进仿真模拟软件,可实现晶体材料生长过程模拟、CFD分析、磁场粉体仿真、热力学分析等多维运动学仿真,有效提升研发效率与产品设计精准度。
松瓷机电持续秉持“创新驱动、品质至上”的核心理念,深耕半导体晶体生长设备核心领域,不断攻克技术难关、提升核心竞争力,为全球半导体产业发展提供更优质的设备与解决方案,与客户携手共筑行业高质量发展新生态。

碳化硅电阻炉

规格:6英寸、8英寸、12英寸
生长方式:PVT(物理气相传输)
掺杂类型:N型、半绝缘型
多温区设计,轴径分离
超稳态控温,高精度控压
全自动控制,智能系统
防打火设计,稼动率高
二
碳化硅感应炉

规格:6英寸、8英寸
生长方式:PVT(物理气相传输)
掺杂类型:N型、半绝缘型
线圈/测温/工艺配方灵活调节
充分的设备运行参数/安全监控
可实现多台设备紧密排列
可选配红外自动化XY调整模块
三
碳化硅粉料合成炉

规格:30kg级、70kg级
生长方式:SHS(高温自蔓延)
加热方式:感应加热/电阻加热
掺杂类型:N型、半绝缘型
投料量大,产出效率高
自动上下料
远程集控
四
纯化炉

规格:立式、卧式
腔体材料:不锈钢腔体、碳钢腔体
工艺方式:氯气和氟利昂置换工艺
加热方式:电阻加热
全自动控制
提纯能力<5ppm(GDMS检测结果)
维护便捷
排放安全,满足环保要求
提供定制化服务

无锡松瓷机电有限公司
联系电话:18949560613张成虎
电子邮件:zhangchenghu@wxautowell.com
公司网站:www.wxautowell.com
公司地址:无锡市锡山区芙蓉四路195号
