
日前,复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与器件研究所(以下简称“宽禁带所”)工艺线需求论证会在复旦大学宁波研究院顺利召开。宁波群芯微电子有限责任公司总经理陈益群,中电化合物半导体有限公司总经理潘尧波,深圳尚阳通科技有限公司总经理蒋容,扬州扬杰电子科技股份有限公司总经理王嘉良,通富微电子股份有限公司副总裁姜峰,上海积塔半导体有限公司研发经理刘奇斌,江苏宏微科技股份有限公司经理张景超,极氪汽车新能源电驱高级技术专家、宁波市重大专项指南专家王海兵等来自省内外半导体制造和应用企业的专家代表参加论证会并提出意见和建议。

宁波杭州湾新区经济和信息化局一级调研员谢建明,新区发展和改革局局长胡建东,复旦大学宁波研究院常务副院长崔峻博士,复旦大学特聘教授、博士生导师、宽禁带所所长张清纯教授,新区经济和信息化局副局长刘毅博士,研究院副院长杨展晖,以及来自新区经信局、新区财政局、宽禁带所等相关单位科室负责同志出席会议。

张清纯表示,复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与器件研究所由复旦大学宁波研究院牵头,联合复旦大学工程与应用技术研究院共同组建,聚焦SiC功率半导体材料缺陷表征、器件设计、器件制造工艺、封装工艺开发等主要方向,以市场需求为导向,技术创新研发为动力,高端人才培养为支撑,采用政府引导、高校支撑、企业联合研发、全产业链协同的政产学研相结合的模式,重点突破SiC材料与器件关键共性技术及先进制造工艺,联合上下游建立虚拟IDM模式,为宁波SiC优势产业集群的形成提供强有力支撑。
张清纯指出,宽禁带所建设总投入约4.6亿元,主要用于器件工艺研发与中试线、先进封装研发线、测试及可靠性平台的设备采购、能力建设和日常运营管理等。接下来将按照国家级和省级重点实验室标准,加快建设面向前瞻研究与成果转化、具备国际领先水平的碳化硅半导体材料与器件高水平研发平台,力争成为国家级碳化硅半导体技术研发中心,打造宁波“碳化硅谷”。

专家组在听取报告后一致认为:宽禁带所的建设,一方面将极大推动宁波前湾新区SiC半导体产业链的形成与发展,有助于培育和引进一批具有产业生态主导力的领军企业,突破材料生长、设计制造、模块封装等核心关键技术,完备新区乃至宁波市的SiC半导体产业链,成为区域产业升级及推动高质量发展的主要引擎之一,同时服务宁波当地、长三角以及全国的SiC半导体相关企业;另一方面其建设的工艺研发线、模块研发线和相关测试平台高度契合产业链上下游企业研发及中试需求,建成后该平台完全具备能力对产业相关企业提供足够的技术和研发支撑。同时,宽禁带所将打破单元、组织、区域的界限,培养产业急需的工程型人才,成为汇聚人才、激励人才、营造人才创新文化氛围的实施主体。
经专家组评估:复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与器件研究所工艺线需求切实,建设方案与预算可行,上下游企业期待和该平台紧密合作,共同推动碳化硅半导体产业在宁波及全国的快速发展。建议根据参会专家的相关意见,进一步完善宽禁带所的建设方案,抓紧推动工艺线建设。

谢建明表示,目前全球第三代半导体产业正处于起步阶段,相较于我国与国际在硅基半导体技术上的差距,我国在第三代半导体应用领域有战略优势,有机会实现核心技术突破和产业战略引领,在国际竞争中抢占先机,重塑全球新兴半导体产业格局。希望复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与器件研究所抢抓历史机遇,深入贯彻好论证会专家研讨意见,重点加快推动工艺线的建设,有效突破国内碳化硅半导体产业链的共性问题,逐步缩小与国外领先技术的差距,打造区域开放型公共研发服务的新高地,更好支撑新区、宁波、浙江乃至全国的碳化硅半导体产业链上下游企业。新区经信局亦将全面支持宽禁带所的各项建设工作,有效助力宽禁带所在前湾新区这片科技热土中茁壮成长、争创辉煌!


崔峻对各位专家和领导给予复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与器件研究所的关心支持和中肯建议表示十分感谢。其指出,为更好服务国家战略、更好服务学校“第一个复旦”建设、更好服务长三角经济社会发展需要,复旦大学宁波研究院将通过与复旦大学相关科研平台和团队紧密合作,在省、市和新区三级政府的支持下,于“十四五”期间陆续建成三个具有先进水平的研究所——宽禁带半导体材料与器件研究所、生物医学工程和转化医学研究所、新能源新材料研究所。目前已率先启动宽禁带所的各项建设工作,并取得了良好的推进成果。下一步,研究院团队将认真研究汲取专家组的意见和建议,逐条梳理、深入研究、积极采纳,在建设过程中持续优化完善建设方案,争取保质保量达成建设目标并实现预期效益。



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